具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作

分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.     

多晶硅衬底上的RF MEMS开关

在微机械开关与硅IC工艺设计和兼容方面进行了改进,获得了一种可与IC工艺兼容的RFMEMS微机械开关.采用介质隔离工艺技术把这种RFMEMS微机械开关制作在绝缘的多晶硅衬底上,实现了与IC工艺兼容;采用在金属膜桥的端点附近刻蚀一些孔的优化方法,降低了RFMEMS微机械开关的下拉电压.用TE2 819电容测试设备测试开关的电容,测得开关的开态电容、关态电容和致动电压分别为0 32 pF、6 pF和2 5V .用HP875 3C网络分析仪对RFMEMS微机械开关进行了RF特性测试,得出RFMEMS微机械开关在频率1 5GHz下关态的隔离度为35dB ,开态的插入损耗为2dB ,用示波器测得该开关的开关     

SOI光开关速度和损耗的研究

速度和损耗是光开关的两项重要特性指标。章在介绍SOI热光型和电光型开关工作原理的基础上，分析了波导层和埋层二氧化硅厚度、电极材料、载流子寿命以及掺杂、界面质量、模式失配度和对准性等等因素对于速度和损耗的影响，并相应的提出了一些改善方案。     

浅谈变频器发展和应用的几个趋势

随着变频控制理论和制造工艺的进一步发展，变频器的应用和发展将会朝着以下方向发展：（1）短阵变频器的出现的推广；（2）网络化配置的变频器将成为主流；（3）同步电动机的变频应用将得到更为迅猛的发展。     

电器开关的涂装工艺

电器开关因多品种、小批量、使用环境不一，工艺要求变化较大，为此，作者较系统地阐述了电器开关涂装工艺的选择方法，推荐了实用工艺。     

非线性干涉滤光片开关特性及逻辑功能

应用干涉滤光片作为一种光学双稳器件,演示了光学逻辑开关功能。     

接近开关的原理与选用

较为系统全面地介绍了感应式无触点型接近开关的工作原理、性能参数及其接线使用方法与有关注意事项等。     

双速电动机的转速控制

本文分析了典型的变极绕组成及其变极切换方式，提出△／△接法的换相变极绕组及实现不断电切换的变极切换方式。\     

F6系列辅助开关在电网中的应用

综合分析了辅助开关在运行中存在的问题,介绍了一种性能较好的F6系列辅助开关的使用情况。