电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性

根据有限厚度样品体电阻率和薄层电阻两种测试方法间的厚度修正系数的相关性，论证了其边缘效应修正系数具有一一对应的严格的相等性。通过实验予以证明，并可将这一结论应用于非圆心点测试。     

用于疲劳试验的拉、压力传感器及其电路系统

介绍了由弹性钢环制成的应变式力传感器及其制作工艺，特别是弹性元件经过热处理后改善了弹性特性。针对应变式力传感器灵敏度低的特点设计了相应电路，采用正、负电源驱动放大器降低了放大器的共模输入电压，改进了共模抑制比，大大提高了正比特性。此传感器已应用于疲劳试验。     

压力传感器芯片的低温玻璃封接技术

在硅杯背面制备过渡层,然后用低温玻璃焊料将压力传感器芯片与玻璃基座封接在一起,有效地降低了热应力。采用这种新工艺制造出的压力传感器,性能良好,封接强度达７ＭＰａ,提高了可靠性与稳定性。     

利用自平衡电桥消除压力传感器的大热零点漂移

论述了利用并联自平衡电桥的方法补偿大热零点漂移的问题,主要分析了自平衡电桥的性质、补偿原理、补偿线路的原理及补偿效果。通过实验,得出了自平衡电桥可充分补偿热零点漂移的结论。     

P/P~ 外延片电阻率均匀性、一致性的控制

本文通过实验和紫外发射光谱分析,研究了 P/P 硅外延工艺中使用的BBr_3、SiCl_4混合液掺杂源蒸发过程中硼蒸发量稳定性与掺杂源中 BBr_3初始含量的关系,并获得了硼蒸发量稳定的掺杂源配方.本文还研究了沾污的反应室、系统管道、基座、外延生长温度、衬底杂质浓度及背面封闭层与外延层电阻率的关系.将这两方面的研究结果应用于外延生长中,制备出电阻率一致性、均匀性好的 P/P 外延片.     

外加电压和桥电压对压力传感器零点和灵敏度影响理论分析

本文详细的分析了自平衡电桥激励的压力传感器的输出信号U与桥电压Ve、供电电压Vcc及流体压力P之间的关系,并指出,不仅桥电压而且总激励电压都对零点和灵敏度有影响,在U－Vcc,P的三维空间表达了三者之间典型关系曲线。建议零点输出的电漂移应作为压力传感器的一个特性指标。     

基于压力传感器的风速风压测量系统与无线数据传输

本文介绍了用MCS-52系列单片机设计的监测风压风速的数据采集和处理系统。该系统采用单片机技术,以AT89S52为核心,把高性能低量程压力传感器安装在步进电机上,使步进电机带动传感器转动来测量风压。另外将无线收发模块PTR8000应用于该系统,实现测量系统所测数据的无线传输,用户可在接收端对系统进行控制。该系统避免了复杂的现场连线,应用灵活,提高了工作效率,降低了工作成本。     

高温压力传感器的力敏电阻条的制备

本文探讨了一种金属薄膜高温压力传感器的力敏电阻条的制作方法,采用氮化铝作铜村底和金属力敏电阻条之间的电绝缘层,利用铜金属在高温条件下也能够表现出压阻特性,制作力敏电阻条。通过直流磁控溅射制作力敏电阻条,并引线,封装,进行测试,最后反应出随压力的变化电阻的变化关系。     

基于单片机的四探针测试系统的研制

利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础上,完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程,研制出一台具有输出高精度高稳定性恒流源的斜置式方形探针分析仪。该系统是基于单片机的智能化控制系统,实现了10μA～1mA、步长为10μA的高精度数字控制恒流源,具有较高精度的电压测量电路,并能和上位机PC进行RS-232串口通讯。     

输出信号基于规范化多项式拟合的智能压力传感器

利用多项式拟合的规范化方法来融合温度信息 ,实现了压力传感器的非线性修正和温漂补偿 ,得到了压力解析表达式 ;同时利用单片机进行采集和处理信息 ,实现了压力传感器的智能化。