微电子机械系统中微尺度热物性研究进展

微电子机械系统（MEMS）是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直到纳米量级。由于微尺度效应,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数（如比热、热导率、热扩散率等）与常规材料显著不同。设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应,并使用合理的热物性参数值,才能保证微电子机械系统的热稳定性。本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展。     

部分国家/地区支持推动MEMS发展的举措

微机电系统(MEMS)是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器和微系统等。MEMS由于尺度小,集成度高,功能灵活强大,使人类的操作、加工能力延伸到μm级空间,同时作为新兴的高技术产业,已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一。介绍了世界上部分国家和地区在推动MEMS发展方面的各种政策措施,并对我国MEMS的发展具有启示作用。     

基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术

随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论。     

微机电系统文献计量分析

微机电系统(MEMS)是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器、微系统等。MEMS作为新兴的高技术产业之一,已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一。本文通过对MEMS领域的SCI文献计量分析,结果显示,近年来,该领域的研究呈现出增长趋势,美国在MEMS领域的研究处于绝对领先的地位。SCI文献分析表明,薄膜、微加工、封装、传感器等是近年来研究的热点领域。     

微电子机械系统技术应用研究

微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域，文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术，讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。     

S型MEMS平面微弹簧的制备和表征研究

微弹簧是一种重要的微电子机械系统(MEMS)器件，它可以为微传感器和微执行器提供弹性驱动力。我们采用UVLIGA技术制备出S型镍平面微弹簧，并使用ANSYS对微弹簧的力学性能进行了模拟。为测试微弹簧的力学性能，研制了1台微弹簧力学性能测试装备。测试结果表明，微弹簧可以满足设计需要。另外，通过比较得出：ANSYS对微弹簧力学性能的模拟结果是较为准确的，可以作为进一步优化微弹簧设计的基础，以满足MEMS的需要。     

热气泡式微喷技术研究

分析了各种热气泡式微喷技术及其发展状况,并介绍了一种顶端发射的热气泡微喷射执行器的设计,该微喷执行器主要应用于喷墨打印、微电子冷却和医药加工等领域.这种热气泡式微喷射技术是利用MEMS微加工的方法制造具备弹射功能的微流体机电系统.研究显示结构设计具有很好的热效率,喷射液滴质量稳定.     

MEMS传感器性能提高相关技术研究

在分析MEMS（微电子机械系统）传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后，提出了MEMS传感器技术实用化的关键－提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用。     

微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。     

基于快速成形的MEMS微制造技术

评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点，综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构，目前所能达到的精度与应用典型实例，微型制造技术的优越性与局限性，对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍。     

微机电系统静动态测试技术研究

在中国国家863高技术发展计划MEMS重大专项课题《MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统》资助下，研发微机电系统(Micro Electro Mechanical System , MEMS)动态特性三维测量技术与系统。对已有的微几何量、微材料力学性能和MEMS动态参数测试方法进行研讨。 几何尺寸和表面形貌轮廓的测量是MEMS测量的基础。二维微几何量检测采用普通光学显微镜和扫描电子显微镜。表面形貌测量大致可分为接触式测量和非接触式测量，机械触针式轮廓仪是典型的接触式测量仪器，非接触式测量大多采用光学技术，主要有光针式轮廓仪，采用光切、干涉、投影光栅和微视觉等测量方法。     

微能源的研究现状及发展趋势

电子产品小型化、微型化、集成化是当今世界技术发展的大势所趋.随着微机电系统(MEMS)技术的发展,与之相关的微能源技术得到人们更多的重视.人们希望MEMS技术和微能源技术互为促进,运用MEMS技术工艺改善和提高微能源的性能,同时微能源以某种方式集成于MEMS中,使MEMS具有更加强大和完备的功能.目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍.介绍了微能源技术的研究现状和发展趋势,介绍了国际上微型锌镍电池、微型内燃机系统、微型锂电池、微型太阳电池、微型燃料电池和微型同位素电池研究工作的最新进展.简单分析了微能源的发展方向和应用前景.     

微机电系统科学与技术的现状研究

概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem——MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述了MEMS的主要研究内容。简要介绍了MEMS的基本加工技术，实际应用情况以及国内外MEMS的研究发展现状。     

微驱动器的研究与发展

微电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems,简称MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术,微驱动器是MEMS的重要组成部分.首先阐述了几种新型驱动原理:机械化学驱动、渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动,接下来介绍了常用驱动技术压电驱动、静电驱动、磁致伸缩驱动和气动驱动的当前研究成果.总结了常用微驱动器的驱动方式及特征.提出了目前研究中存在的主要问题,在此基础上简要分析了微驱动器的发展前景.     

微电子机械系统的力学特性与尺度效应

针对微电子机械系统（MEMS）材料的力学特性,工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据。     

面向MEMS构件在线检测和三维外型测量的立体视觉系统

开发了可用于MEMS微制造和微装配过程的一种面向MEMS构件的在线监测和三维外型测量的视觉系统。介绍了该系统的设计、结构、工作原理及实现，并讨论了立体视觉模块的一些关键技术。参考微操作系统的原理，将立体视觉技术引入MEMS构件的检测，实现了由体视显微镜和一个CCD摄像机构建光学系统的三维外型视觉测量系统。实验结果表明，该系统是一种有效的三维检测解决方案。加以少量结构改进，该系统可以用于微制造和微操作过程中对MEMS构件的在线监测和三维外型的视觉测量。     

微机电系统发展的新动向

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电 系统 (M EM S:M icro E lectro M echanicalSystem )。它将微电子 、微米 /纳米加 工技 术、精 密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统 ,完成大 尺寸机电 系统所不 能完 成的任 务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。微机电技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究…     

微尺度热科学及其在MEMS中的应用

主要介绍了微尺度热科学最新研究成果及其在MEMS中的应用。微电子机械系统（MEMS）的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战。微尺度热科学是微尺度物理学的一个重要分支，包括微尺度传热学、 微尺度动力学和微尺度热测量学等。一般来说，微尺度热现象的尺度效应可以归结为热流密度大和热惯性小这两个特点，在MEMS器件中有广泛的应用。尽管近年来微尺度热科学取得了快速的发展，但仍处于不断发展的阶段，完整的理论体系还没有建立；微尺度下成熟的实验方法还在摸索中，实验数据处在原始积累阶段；大规模计算条件的实现和分子水平的数值模拟方法的解决提供了另一条途径。     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

基于MEMS技术的微型气相色谱仪的研制

介绍了一种采用微电子机械系统(MEMS)的新型微型气相色谱仪,重点介绍了微进样系统、微热导检测器(TCD)的设计和制做技术.通过微细加工技术,将微通道、微阀、微检测器等三维器件像IC芯片一样集成在硅片上,并将这些关键器件和常规的毛细管分析柱连用,达到快速、高灵敏度和经济的样品分析.该仪器具有便于携带、功耗低、能在线分析、使用简单等特点.