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侧壁压阻式力传感器的研制与标定 总被引:1,自引:0,他引:1
在对现有微操作中夹持力问题进行分析的基础上,提出了一种基于面内侧壁压阻的力传感器加工方法,成功地在MEMS微夹持器上集成了压阻式的力检测传感器,对夹持力的检测反馈实现了微操作的闭环控制.该方法利用离子注入工艺和深度反应离子刻蚀(DRIE)工艺相结合制作检测梁侧壁压阻,改善了侧壁压阻工艺与其他工艺间的兼容性问题.最后通过压电叠堆驱动平台结合精密电子秤对压阻传感器进行了标定.测试表明,这种微力传感器加工技术可以很好地与其他工艺相兼容,力传感器的灵敏度优于72V/N,分辨率优于3μN. 相似文献
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针对集成谐振式微悬臂梁气体检测仪小型化的问题,利用DSP(数字信号处理)设计和实现了可快速现场检测的便携式气体检测仪。该仪器基于DSP28335开发,采用开环自动扫频与闭环锁相检测相结合的方式。闭环测试核心是软件锁相环的设计,其中采用DFT(离散傅里叶变换)算法提取相位差,提高了运算的速度和计算相位差的精度。软件设计跟踪算法使其能够一直跟踪频率变化,使锁相更快,精度更高。结合实验室研制的微悬臂梁传感器制备了便携式二甲苯气体检测仪,并对浓度低至30 ppm的二甲苯气体进行了实测,验证了该仪器具有快速的响应速度和检测重复性。 相似文献
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形成硅多层微机械结构的“掩模-无掩模”腐蚀新技术 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了一种制作硅多层微结构的体微机械加工新技术.基于KOH溶液的无掩模腐蚀特性,仅用一层掩模进行一次从有掩模到无掩模的连续腐蚀工序,可在(100)硅片上制作各种以(311)晶面为侧面且进棱沿(110)晶向的多层次立体结构,原则上层面数不受限制,各个层面的位置和深度都可由一块掩模的设计和相应的腐蚀深度确定,该技术突破了传统各向异性腐蚀的局限性,使体微机械技术的加工能力大为扩展,可望在微电子机械系统的结构制作中广泛应用. 相似文献
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本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛-膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于CMOS集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计,提高了传感器的性能。 相似文献
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MEMS传感器性能提高相关技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在分析MEMS(微电子机械系统)传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后,提出了MEMS传感器技术实用化的关键-提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用。 相似文献
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基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻温度系数接近于0.0023/℃. 相似文献
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曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计 总被引:6,自引:0,他引:6
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型,此传感器为整体式悬臂梁结构,采用硅微机械加工技术制作,便于封装和大批量低成本制造,其敏感方向在硅片平面内,两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端,两个完全相同的悬壁梁沿相反方向分布,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接,悬臂梁的过载保护采用上下两个曲面,一方面有效地提高悬壁梁的过载保护能力,另一方面调节加速度传感器的压膜阻尼,使之接近临界阻尼,有效抑制自由振动模态,提高测量精度。 相似文献