压差式漏率测试仪的实验研究

将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器，静态真空室接于一个比较容器，即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡，真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时，真空计薄膜两侧形成压差，真空计指示读数，继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时，检测的最小可测漏率达10－4～10-5Pa·L／s；而在充压测试时，因受气体温度变化的影响，灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。     

压敏电阻用于低真空测量的研究

研究了将压敏电阻用于低真空的测量，包括规管和电路，研制成了新型ＤＬ－４型真空计。该计测量范围为１０＾２－１０＾５Ｐａ，性能好，价格便宜，介绍了该真空计的原理，结构与特性。     

检漏容器的密封性能对航天器总漏率测试的影响研究

采用非真空氦质谱累积法进行航天器密封系统的总漏率测试时,需要检漏容器对密封系统泄漏出的氦气进行收集。本文通过理论分析,并用正压氦漏孔模拟航天器密封系统的泄漏进行试验验证,得出了检漏容器的密封性能对航天器密封系统总漏率测试的影响,为检漏容器的泄漏给出了建议指标。     

正压标准漏孔校准装置

为校准适用于气密检漏仪及流量控制仪表的正压标准漏孔,研制正压标准漏孔校准装置。校准装置由气源压力自动控制部分、被测标准漏孔、皂膜流量计标准组3部分组成。气源压力自动控制部分采用PLC实现整个系统的自动控制,根据标准漏孔的气源压力自动提供压力波动不超过±1%气源。校准装置可以对气源压力在1~1600kPa,漏率在0.001~20L/min范围内正压标准漏孔进行校准,相对扩展不确定度为1.7%~2.0%(k=2)。研究气源压力波动对标准漏孔漏率的影响,气源压力在±1%,±5%波动时,标准漏孔漏率波动与气源压力波动基本一致。     

薄膜电容真空计电源的研究

介绍了利用交流电桥和相敏检波（PSD）原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能，对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究，在8h内测量，电容差值的漂移可小至10－3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计，可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明，这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa，覆盖五个数量级的真空度测量。     

电磁力驱动振膜真空计的研究

本文介绍了一种新的电磁力驱振膜真空计，它的压强量程覆盖１０＾－２Ｐａ－ｌａｔｍ，如需要上限可高达２ａｔｍ。改进电路稳定性后，下限可氏１０＾－３Ｐａ。与现今的静电务驱动振膜真空计相比，高压强扩展了一个量级。该振膜规管的特征是振膜两侧分别固定一个带磁极的驱动线圈和信号线圈。     

温度变化对漏孔漏率的影响

分析了漏孔在温度夹变时漏孔的热物理过程和与之相适应的漏孔漏率变化。认为漏孔在突然处于低温状态时，漏率变化的主要因素是示漏气体滞粘系数随温度的变化而造成，漏孔尺寸随温度变化引起漏率变化是次要的。在非稳定状态时，漏率随时间呈指数式变化。     

用脉冲超声波对大型容器检漏

脉冲超声波探伤仪发射的超声波,传入待检部位,超声波直线传播直至碰到漏孔,产生回波讯号并被仪器接收。利用漏孔回波讯号被仪器接收这种方式判断容器是否有漏孔以及这些漏孔的位置,根据回波讯号测定漏孔的漏率,     

一种“绝对型”电容薄膜真空计的研制

介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规，以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1．3～105Pd，真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内，以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0．1℃，有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0．4％，高真空下北输出漂移小于0．1％，在13～105Pa各量程内，最大校准误差小于读数的4％。     

真空漏孔的校准方法

在检漏工作中，要定量地确定被检漏孔的漏率，需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪。在这个传递过程中，对参考漏孔的校是一个很重要的环节。以国内外有关的标准和文献为基础，对真空漏孔的常用校准方法－定容变压法，恒压变容法，变容变压法和比较法分别给予分析和介绍。     

多功能真空校准装置校准软件的概要设计

在多功能真空校准装置研制过程中,根据装置需具备的真空计校准、漏孔校准、在线校准、真空度测试、气体成分分析、漏率测试功能,进行校准软件的概要设计,介绍了软件运行环境及属性特点,分析了软件结构及相互关系,阐述了校准软件各子系统工作原理及工作流程图,同时对装置控制系统进行介绍。     

大容积密闭容器背压法漏率检测关键技术研究

围绕容积为104cm~3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程。理论和实验研究结果表明,将背压法用于预制漏率为10~(-6)Pa·m~3/s量级的大容积密闭容器的漏率检测是可行的。随着漏孔漏率的降低(低于10~(-7)Pa·m~3/s量级),试验件的最低可检漏率也将逐渐低于氦质谱检漏仪的有效检测漏率,而由于被检对象的本底漏率值无法提前获知,将造成将背压法用于更低漏率的大容积密闭容器的漏率测试结果误差极大地增加。相关研究结果对于大容积密闭容器的漏率检测具有一定的理论指导价值。     

大容积密闭容器背压法漏率检测关键技术研究北大核心CSCD

围绕容积为104cm^3量级的密闭容器开展背压法漏率检测关键技术研究,分析了压氦压力、压氦时间、容器内外壁气体解吸附等因素对实验结果的影响机制,建立了一套可用于大容积密闭容器的背压法检漏流程。理论和实验研究结果表明,将背压法用于预制漏率为10^(-6)Pa·m^3/s量级的大容积密闭容器的漏率检测是可行的。随着漏孔漏率的降低(低于10^(-7)Pa·m^3/s量级),试验件的最低可检漏率也将逐渐低于氦质谱检漏仪的有效检测漏率,而由于被检对象的本底漏率值无法提前获知,将造成将背压法用于更低漏率的大容积密闭容器的漏率测试结果误差极大地增加。相关研究结果对于大容积密闭容器的漏率检测具有一定的理论指导价值。     

标准静态膨胀法真空装置研制

本装置检定范围(10^-3～10^5)Pa，最佳校准能力0．012％～2．2％．可以检定薄膜真空计。热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^-3Pa高真空计量的需求，而且还可以用来校准标准漏孔，拓宽了检测领域。     

微压差装置整体漏率测试方法研究

本文基于微压差装置整体漏率的传统测试方法中误差产生原因,选择刚性容器替代大气作为压强测量基准,通过温度计精确测量了微压差装置和基准容器的温度,并采用温度补偿修正泄漏差压以获得整体漏率。通过刚性容器膨胀实验对该方法进行验证,以密闭氧气枕为缩比模型,测量了500Pa微正压下的漏率,结果显示该方法可以获得良好的测量重复性,相对误差低于15%,为微压差装置整体漏率的精确测量奠定了技术基础。     

离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度

利用测试负荷小于１０＾－１Ｎ的ＵＭＨＴ－３型超显微度测量仪，测试了不厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细了薄膜和其底对在工测试的影响，并提出了临界负荷的概念，只有当测试负荷小于监界负荷时，才能获得薄膜的真空硬度。对三种不同厚度的氮化硅薄膜，给出了相应的监界负荷值。     

正压漏孔校准装置性能测试

正压漏孔校准装置可采用定容法和定量气体动态比较法进行正压漏孔的校准。定容法的校准范围是１００～５×１０＾－３Ｐａ．Ｌ／ｓ,不确定度小于９．１０％;定量气体动态比较法的校准范围是１×１０＾－２～５×１０＾－５Ｐａ．Ｌ／ｓ,不确定度小于１４．２０％。     

低温绝热容器氦质谱检漏方法探讨

漏率是低温绝热容器产品的主要技术参数之一,利用氦质谱检漏技术对漏孔进行定位、定量检测可以起到控制产品质量的目的。文章首先对低温绝热容器用两种氦质谱检漏系统进行了比较和试验分析。结果表明：在测试条件一致的情况下,标准漏孔安装在系统中的不同位置,将对系统最小可检漏率、系统反应时间、漏率测算值产生影响。在对影响结果进行分析的基础上,对实际检漏工作提出相应建议。其次对分流和无分流两种检漏方法的选择原则进行了探讨。然后以53m^3液化天然气储运容器为例,对容器制造过程中的角焊缝、对接焊缝、夹层内存在的漏孔、阀门及容器整体的检漏方法进行了详述。最后对检漏过程中应注意的事项进行了说明。     

不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响

针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10~(-6)Pa·m~3/s的标准真空漏孔在使用H_2、He、D_2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。     

气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响

真空标准漏孔作为标定检漏仪或被测量漏率的参考标准,在核工业、航天航空等领域得到了广泛应用。本文利用氦质谱检漏仪和定容法对标准漏孔(铭牌漏率:2.3×10-6Pa·m3/s,He,23℃)进行校准,以为快速地定量研究聚变材料中氘(D2)或氦(He)行为提供有用的参考。研究结果表明,漏孔漏率随入口端气体压强的增大而增大,并与漏孔两端气体介质压强的平方差呈线性递增关系。同一入口压强下,D2的漏率高于He,且漏率之间的差异随压强增加而变大。同一条件下,定容法和氦质谱检漏仪测得漏孔中示漏气体He的漏率值基本相等,但示漏气体为D2时,氦质谱检漏仪测得的漏率值高于定容法。研究还给出了氦质谱检漏仪测量示漏气体D2时漏孔漏率的修正关系式。