不同粒径纳米二氧化硅磨料对蓝宝石CMP去除机制的影响

采用不同粒径的纳米二氧化硅磨料对蓝宝石晶圆进行化学机械抛光(CMP).结合实验与量子化学参数的仿真计算,研究了磨料粒径对抛光后蓝宝石晶圆表面性能的影响及其材料去除机制.结果表明:在CMP过程中,纳米二氧化硅磨料与晶圆表面发生了主要基于磨粒表面羟基官能团与加工材料表面之间强相互作用的固相反应.提出了磨粒粒径影响固相反应强度的机制.纳米二氧化硅磨料在蓝宝石CMP中对材料的去除是机械磨损和化学反应共同作用的结果,磨料的粒径是影响两者动态平衡的重要因素.建议采用混合粒径纳米二氧化硅磨料来抛光蓝宝石.     

二氧化硅磨料粒径分布对蓝宝石化学机械抛光的影响

针对蓝宝石晶圆化学机械抛光(CMP)高去除速率和高抛光质量的要求,对比了分别采用单一粒径、连续粒径和混合粒径的SiO2磨料对蓝宝石晶圆的抛光效果.结果表明,将粒径为120 nm的40％(质量分数)硅溶胶与粒径为30 nm的20％(质量分数)硅溶胶按体积比8:2混合作为磨料对蓝宝石晶圆进行CMP时,去除速率最高,抛光后蓝宝石晶圆的表面粗糙度(Ra)低至0.158 nm,无明显的划痕、划伤等缺陷.     

化学机械抛光过程中抛光液团聚问题的研究

在化学机械抛光(CMP)用二氧化硅浆料中加入不同质量分数的混合保湿剂(由体积比为1∶1的分析纯丙三醇和三乙醇胺混合而成),以解决CMP过程中抛光液易团聚的问题。结果表明,抛光液中加入保湿剂后团聚问题得到缓解。随保湿剂质量分数的增大,抛光液的团聚析出量减少,黏度增大,对蓝宝石晶圆的去除速率先增大后减小,晶圆抛光后的表面粗糙度逐渐增大。当保湿剂的质量分数为4%时,对蓝宝石晶圆进行CMP时的材料去除速率最大,为93.6 nm/min,抛光后晶圆的表面粗糙度为0.412 nm。     

晶硅和蓝宝石加工用金刚石工具

文章综述了金刚石工具向光伏、LED和半导体等新兴领域的发展,指出了金刚石工具越来越精细化的趋势;介绍了单晶硅、多晶硅和蓝宝石加工过程中用到的金刚石工具,其中对金刚石线锯、高精密金刚石砂轮、金刚石超薄划片、高精度套料钻头和CMP修整器在文章中做了重点介绍,最后就国内金刚石工具的发展趋势做了简单阐述。     

透射法在山东蓝宝石颜色量化中的应用(上)

山东蓝宝石在反射光下近黑色,无法适应国际上较通用的有色宝石品质分级体系.文章根据该产地蓝宝石的颜色特征,通过对比实验探讨最佳颜色测试方法,为山东蓝宝石颜色分级体系的建立提供理论支持.研究表明:透射法测试能更好地表征与区分蓝宝石的颜色.本实验根据色度学原理,以CIE1976Lab均匀色空间为载体,对透射条件下山东蓝宝石的颜色参数(明度、色调、饱和度)进行量化分析,为山东蓝宝石颜色分级体系的建立提供参考.     

透射法在山东蓝宝石颜色量化中的应用(下)

山东蓝宝石在反射光下近黑色,无法适应国际上较通用的有色宝石品质分级体系.文章根据该产地蓝宝石的颜色特征,通过对比实验探讨最佳颜色测试方法,为山东蓝宝石颜色分级体系的建立提供理论支持.研究表明:透射法测试能更好地表征与区分蓝宝石的颜色.本实验根据色度学原理,以CIE1976Lab均匀色空间为载体,对透射条件下山东蓝宝石的...     

刚玉·红宝石·蓝宝石的再认识

为了使广大消费者能更好地认识、了解彩色宝石中最珍贵的红宝石和享有"帝王石"之称的蓝宝石,对红宝石、蓝宝石(刚玉)矿的矿床地质、资源分布及开采利用历史作了简明的回顾和阐述.针对近几年来国际珠宝市场中红宝石、蓝宝石又重新成为主要畅销产品的趋势,介绍了泰国有关珠宝机构提出的红宝石分级体系,国际有色宝石协会将粉红色、浅红色宝石级刚玉归入红宝石中的规定,国际市场上有关红宝石、蓝宝石的供求动向以及在具有永久纪念意义的红宝石、蓝宝石的收藏情况等方面的资讯.     

金刚石覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响

金刚石磨粒表面镀镍可以增强其与树脂的结合力。通过化学镀的方法在金刚石磨粒表面镀覆一层不同包覆率的Ni-P合金层,并制成了固结磨料研磨垫。采用CP-4型CMP抛光和测试系统,分别对蓝宝石进行粗研和精研加工,探索不同覆镍量对固着磨料研磨蓝宝石性能的影响。结果表明:金刚石磨粒表面镀镍可以改变其微观形貌:在实验范围内,随着金刚石包覆率的增加,摩擦因数、材料去除率和表面粗糙度呈现先增大后减小的趋势,其中粗研在包覆率为50%、精研在包覆率30%达到峰值;声发射信号呈现先减小后增大的趋势,其中粗研在包覆率50%、精研在包覆率30%达到谷值;粗研过程对包覆率的要求高于精研过程。     

交联聚合物微粒改性乳液聚合物工艺研究

采用乳液聚合法合成了成膜性很好的聚合物乳液和交联聚合物微粒 (CMP)乳液 ,并将二者共混 ,研究了CMP对聚合物乳液的成膜性及膜性能的影响 ,试验表明CMP对合成的乳液聚合物涂膜有增强作用 ,但其改性工艺仍需改进。对CMP的合成稳定性、成膜性和膜强度以及功能单体对CMP的改性性能也进行了讨论     

半导体工业中的化学机械抛光(CMP)技术

介绍了半导体工业中蓬勃发展的化学机械抛光(CMP)技术.重点叙述了CMP技术所采用的设备及消耗品,CMP过程机理,抛光片的检测及影响抛光片质量的因素,CMP技术的应用及发展趋势.     

乙烯酮(双乙烯酮)下游产品废水的治理技术

乙烯酮(双乙烯酮)是十分重要的化工中间体,其下游产品较多。江苏某化工厂开发生产乙烯酮(双乙烯酮)下游产品三十多个,年生产规模三万多吨,是国内以乙烯酮(双乙烯酮)为中间体生产精细化学品的综合骨干企业。针对乙烯酮(双乙烯酮)下游产品废水特点,该厂结合企业实际,开展了产品优化,结构调整,清洁生产,资源循环利用,节水降耗等工作,从源头削减了污染物的生产。同时投资二千多万元新建预处理装置三套,6000m3/d废水生化处理装置一套,使全厂乙烯酮(双乙烯酮)下游产品的废水得到了有效的治理。     

分解炉扩径的技术改造

我厂3号回转窑(Φ4m×60m)生产线在1996年年底由SP窑(产量912t/d)改为NSP窑(产量1320t/d),预分解系统为四级旋风预热器带离线式分解炉     

水泥水化热测定方法综述

水泥水化热是中、低热水泥和核电工程用水泥的一项关键的技术指标。全球范围内测定水泥水化热的方法有溶解法、直接法/半绝热法、等温传导量热法三种。本文总结了中、美、欧相关方法标准,对其测试原理、仪器设备、试验过程等方面进行了比对,并对其在领域的应用做了简单的概括。     

生物油的成分分析及物性测定

以添加FeCl2的ZnCl2-KCl混合熔盐裂解纤维素和秸秆,制得生物油。采用傅立叶变换红外光谱法和气相色谱-质谱法分析生物油的成分。结果表明,生物油中成分复杂,含有氧元素、多种有机化合物,主要包括酮类、醛类、酚类及羧酸类等。测定了20～80℃生物油的密度和粘度,发现生物油的密度与温度呈较好线性关系,而生物油的粘度均大于水的粘度,且不同熔盐体系对秸秆生物油的粘度无较大影响。     

Effect of degree of deacetylation of chitosan on the kinetics of ultrasonic degradation of chitosan

The objective of the study was to explore the effect of the degree of deacetylation (DD) of the chitosan used on the degradation rate and rate constant during ultrasonic degradation. Chitin was extracted from red shrimp process waste. Four different DD chitosans were prepared from chitin by alkali deacetylation. Those chitosans were degraded by ultrasonic radiation to different molecular weights. Changes of the molecular weight were determined by light scattering, and data of molecular weight changes were used to calculate the degradation rate and rate constant. The results were as follows: The molecular weight of chitosans decreased with an increasing ultrasonication time. The curves of the molecular weight versus the ultrasonication time were broken at 1‐h treatment. The degradation rate and rate constant of sonolysis decreased with an increasing ultrasonication time. This may be because the chances of being attacked by the cavitation energy increased with an increasing molecular weight species and may be because smaller molecular weight species have shorter relaxation times and, thus, can alleviate the sonication stress easier. However, the degradation rate and rate constant of sonolysis increased with an increasing DD of the chitosan used. This may be because the flexibilitier molecules of higher DD chitosans are more susceptible to the shear force of elongation flow generated by the cavitation field or due to the bond energy difference of acetamido and β‐1,4‐glucoside linkage or hydrogen bonds. Breakage of the β‐1,4‐glucoside linkage will result in lower molecular weight and an increasing reaction rate and rate constant. © 2003 Wiley Periodicals, Inc. J Appl Polym Sci 90: 3526–3531, 2003     

Process of acceleration of filtration of viscose

Conclusions It is significant that the purification on a single passage of viscose through porous ceramic corresponds to the result of a two-stage filtration of it in industrial filter-presses with standard fillings.Kiev Combine. Kiev Technological Institute of Light Industry. Translated from Khimicheskie Volokna, No. 3, pp. 20–22, May–June, 1969.     

基于组件技术的化工原理实验课件的设计

利用组件技术开发化工原理实验课件,给出了系统层、组件库层和应用层的架构划分。重点讨论了组件库的设计,给出了流体阻力这一典型实验的实现描述。实践证实,基于组件技术可以提高仿真实验的开发效率。