新型光敏聚酰亚胺微型阀

微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了一种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。     

药物控释MEMS系统中微型泵的设计与仿真

本文探讨了一种医疗用微药物控释系统，对其关键器件-微型泵、微型阀进行了设计、建模和仿真。选取双金属片加热式膜片泵的模式，设计了泵的入口、泵腔、上下两片双金属加热膜片、多晶硅加热电阻、两个被动式微型阀、流体沟道和出口。全部工艺采用微型机电系统(MEMS)技术加工制作。为了确定所设计的微型泵的尺寸，对泵腔进行了模型分析，以使其在最大容积与最小的模型尺寸间达到最优。采用有限元分析法对电场热效应进行了仿真。基于仿真结果，进行了微型泵系统的加工制造。     

基于硅结构的微流体控制系统

基于硅结构的微流体控制系统（μFCS）是微机电系统（MEMS）中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。     

用于集成化学分析系统的微型泵和采样注入器

用微机械加工的方法,可以制作超小型的高性能化学传感器和用作流量控制的微型阀.如果这些器件被集成在一块硅片上,就能制成非常小的常规化学分析系统.这种微型分析系统优点是灵敏度高,响应快,几乎有没死区,所需的采样量非常少.为了制作诸如流体注入分析器(FIA)这样完善的化学分析器单片集成系统,必须把微型泵和采样注入器造在硅片上.微型泵由一个压力执行器,二个逆止阀和一个由压力执行器驱动的薄膜片组成,这个结构如图1所示.逆止阀用多晶硅作为材料,磷硅玻璃(PSG)作为牺牲层,制造工艺和IC工艺完全兼容.     

利用LIGA工艺研制的微型流体器件

德国的卡尔斯鲁厄研究中心(FK)的微小结构体研究所,积极地进行有关微系统技术的研究.因为LIGA同时利用光制造技术和金属蒸镀技术,所以可制作三维微小结构体,它是一种近于实用化的技术.FK利用这种技术制作微泵、微阀、微型透平、微型传感器以及微型流体器件之类的部件,并将这些器件组装起来制成微型流体仪器系统,该系统主要用于生物体中,也可应用于微型化学分析系统.     

采用激光显示技术的背投拼接墙技术介绍

激光显示系统主要由三基色激光光源、光学引擎和屏幕三部分组成。 光学引擎则主要由红绿蓝三色光阀、合束X棱镜、投影镜头和驱动光阀组成,光润驱动使光阀上分别生成红、绿、蓝三色对应的小画面,然后分别引入三色激光照明投影到屏幕上,即产生全色显示图像。充当光阀及驱动源的可以是各种微型显示系统、如LCD,LCOS,DMD,GLV等。     

1×3光栅光阀式光开关分析与设计

文章结合光栅光阀响应时间短和反射光栅衍射效率高的特点,设计了一种光栅光阀式1×3微型光开关.理论计算和对比实验表明,在波长为1.3 μm,闪耀角和入射角分别为5.4 °和0 °的情况下,开关时间为微秒级.与同类光开关相比,这种开关具有开关时间短、衍射效率高和工作电压低的优点.     

一种医用微型同心压电薄膜泵

设计开发了一种结构新颖，制作工艺简单，成本低，综合性能高的烈性药物输注用压电薄膜微型泵，介绍了微泵的结构设计、工作原理和性能测试。微泵具有在出口和入口两个方向上抵抗冲击载荷的能力和互锁的功能，适合于对外界环境要求苛刻的烈性药物输注。微泵不论液体还是气体为工作介质都具有良好的流量特性和较高的可靠性。同心双向阀结构克服了传统的单向阀并联结构两阀间易连通的缺点。高分子聚合物材料和特殊的加工装配工艺使得微泵即使在小批量单件生产的情况下成本依然低廉。因此，该种微泵更加接近实用化，具有广阔的应用前景。     

MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备

永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。     

MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备

永磁材料在微电子机械系统(MEMS)器件中具有重要的应用价值,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术,给出了工艺制备的实验条件,并利用SEM分析了阵列的表面形貌,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例：Co 85％、Ni 14％。     

MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备

永磁材料在微电子机械系统(MEMS)器件中具有重要的应用价值,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等.本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术,给出了工艺制备的实验条件,并利用SEM分析了阵列的表面形貌,电子能谱分析了永磁材料组分.实验结果表明,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例:Co 85%、Ni 14%.     

用光学捕陷制造微型阀门

微型流体装置已使化学和生物学分析更快、选择性更高,并减轻对研究材料供应的负担。但通常使用的光刻制造法不能产生截面尺寸近100μm的泵和阀。现在科罗拉多矿     

1×3光栅光阀式光开关分析与设计

文章结合光栅光阀响应时间短和反射光栅衍射效率高的特点,设计了一种光栅光阀式1×3微型光开关。理论计算和对比实验表明,在波长为1．3Mm,闪耀角和入射角分别为5．4°和0°的情况下,开关时间为微秒级。与同类光开关相比,这种开关具有开关时间短、衍射效率高和工作电压低的优点。     

微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键，本文介绍了微型涡和微型齿轮 原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时了说明了二者的应用前景。     

光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势

光栅光阀(GLV)是一种基于微机电系统技术的新型微型反射光栅,在静电力的作用下微梁弯曲,从而获得所需要的光强分布.讨论了GLV的原理,结合其特点给出GLV的典型应用;比较了两种常用的计算机模拟方法,最后讨论了GLV的发展新趋势.     

微型硅控制阀

微型硅控制阀是在硅片上采用先进的半导体工艺技术及精密微机械加工技术制成的。它在尺寸上、重量上及能源消耗方面获得重大突破，并且可靠性好、价格便宜。它将逐步取代目前广泛应用的微型电磁阀，满足各方面新的应用要求。工作原理与结构图１是这种阀的工作原理示意图。它由上盖、阀座、双金属片、加热线圈等元件组成。双金属片是由两种不同膨胀系数的合金材料熔接在一起制成的。在常温时，它是平直的；当温度升高时，由于两种材料膨胀系数不同而产生内应力，使双金属片产生挠曲变形。线圈未通电加热时，双金属片是平直的，其端部凸起部压…     

对通信用密封蓄电池阀控值检测标准的思考

本文叙述了阀控式密封电池的“阀控”特征，针对邮电部《通信用阀控式密封铅酸蓄电池技术要求和检测方法》标准中的开、闭阀压力范围，提出减小开闭阀压力差，缩短开阀时间，减少电解液中水分的逸出，提高蓄电池寿命。     

微型涡轮和微型齿轮泵的研制

微型机械制造和装配是微型机械发展的关键。本文介绍了微型涡轮和微型齿轮泵的原理与特点，并通过对微型涡轮和微型齿轮泵的研制，对微型机械的制造及装配工艺、微构件的机械强度等方面进行了有益的探索，同时也说明了二者的应用前景     

以微机械调制巧妙处理光栅

光栅光阀（GLV）的支持者正准备在芯片显示器这一新兴市场中竞争。根据斯坦福大学所作的微机械研究，这种新型光调制器通过光栅产生而处理光，开始时，光栅所依赖形成的而是个完全平坦的硅反射面。这种技术正由1994建立的硅光机公司商业化。公司研究人员说，这种技术能很好与微显示公司等的微型液晶显示器（LCD）和德克萨斯仪器公司制作的数字化微反射镜装置相比拟。但研究人员宣称，速度、填充因数和光效率方面有优点。光栅光阀由悬浮于空气隙之上、交替固定和可移动的硅范带（几微米宽）做成像素化显示器（见图）。在“断开”状态下，…     

一种新型电液伺服阀

研制了一种新型的直动式电液伺服阀．伺服阀的驱动器由压电元件实现。该伺服阀采用电反馈原理．利用位移传感器将位置信号反馈给伺服放大器．与伺服阀的压电驱动器形成一个闭环位置系统．提高了伺服阀的动静态性能。该文对伺服阀样机的静态特性进行了测试，分析了特性曲线上所表征的性能指标及其影响因素；依据实验曲线获得静态特性参数，与北京机床研究所生产的QDY-D40型电磁驱动直动式电液伺服阀进行比较．指出了该阀的优点和不足，并提出改进方法。