| 光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势 |
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| 引用本文： | 李俊,陈海清,余洪斌,王忠.光栅光阀的应用、模拟技术和发展趋势[J].半导体技术,2005,30(7):11-15. |
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| 作者姓名： | 李俊 陈海清 余洪斌 王忠 |
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| 作者单位： | 华中科技大学光电系,武汉,430074;华中科技大学光电系,武汉,430074;华中科技大学光电系,武汉,430074;华中科技大学光电系,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 光栅光阀(GLV)是一种基于微机电系统技术的新型微型反射光栅,在静电力的作用下微梁弯曲,从而获得所需要的光强分布.讨论了GLV的原理,结合其特点给出GLV的典型应用;比较了两种常用的计算机模拟方法,最后讨论了GLV的发展新趋势.
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| 关 键 词： | 微机电系统 光栅光阀 MEMS模拟 有限元分析 |
| 文章编号： | 1003-353X(2005)07-0011-05 |
| 修稿时间： | 2004年9月2日 |
Application, Emulation and Development Trend of Grating Light Valve |
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| LI Jun,CHEN Hai-qing,YU Hong-bin,WANG Zhong.Application, Emulation and Development Trend of Grating Light Valve[J].Semiconductor Technology,2005,30(7):11-15. |
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| Authors: | LI Jun CHEN Hai-qing YU Hong-bin WANG Zhong |
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| Abstract: | The grating light valve (GLV) is a micro reflection phase grating based on micro electro mechanical systems technology. The electrostatic deflection of micro beam generates expected light intensity at a fixed diffraction angle. The optical principle of the GLV technology is presented. Two kinds of simulation methods for GLV are given and compared. Typical applications go along with the introduction of the GLV characters,and the development trend is shown too. |
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| Keywords: | MEMS grating light valve(GLV) MEMS emulation finite element analysis |
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