| MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备 |
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| 引用本文： | 张博军,赵湛,陈绍凤.MEMS电磁执行器CoNi MnP永磁体阵列的制备[J].微纳电子技术,2003(Z1). |
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| 作者姓名： | 张博军 赵湛 陈绍凤 |
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| 作者单位： | 中科院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080
(张博军，赵湛)，中科院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京100080(陈绍凤) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (2 0 2 990 3 0 )，“863”计划 (2 0 0 2AA40 42 3 0 )资助项目 |
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| 摘 要： | 永磁材料在微电子机械系统 (MEMS)器件中具有重要的应用价值 ,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等。本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术 ,给出了工艺制备的实验条件 ,并利用SEM分析了阵列的表面形貌 ,电子能谱分析了永磁材料组分。实验结果表明 ,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构 ,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例 :Co 85 %、Ni14 %。
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| 关 键 词： | MEMS执行器 电铸 永磁体阵列 |
Electroplated CoNiMnP magnet array for MEMS actuator |
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| ZHANG Bo jun,ZHAO Zhan,CHEN Shao feng.Electroplated CoNiMnP magnet array for MEMS actuator[J].Micronanoelectronic Technology,2003(Z1). |
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| Authors: | ZHANG Bo jun ZHAO Zhan CHEN Shao feng |
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| Abstract: | Permanent magnet is one of the key materials in the design and fabrication of MEMS devices, for example, application in micro relay, micropump, and valve. A kind of magnet composed of CoNiMnP has been electroplated with the form of micro array in this paper. The structure of magnetic array was analyzed by SEM and the material composition by electron energy spectrum. The magnetic property was measured by VSM. The result shows that the magnetic arrays have a good structure, main composition is Co 85%, Ni 14%, the coercivity is about 300 Oe. |
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| Keywords: | MEMS actuator electroplate magnetic array |
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