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C面蓝宝石衬底上6H-SiC薄膜的低压化学气相外延生长与表征 总被引:1,自引:0,他引:1
采用低压化学气相沉积方法在C面蓝宝石衬底上异质外延生长出高结晶质量和良好表面形貌的6H-SiC薄膜,研究了CsHs气体流速对薄膜结晶质量的影响.随着C3Hs气体流速的降低,薄膜的结晶质量先增加后降低,表明薄膜的生长在开始阶段受表面反应控制,而后受质量输运控制.所得到的结晶质量最好的6H-SiC薄膜,其摇摆曲线半高宽为0.6°,已经达到单晶水平.没有使用A1N过渡层,制备出结晶质量更好的SiC薄膜,表明对于蓝宝石衬底上SiC薄膜的生长,起决定性因素的是温度,过渡层不是影响SiC薄膜结晶质量的主要因素. 相似文献
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用俄歇子能谱(AES)研究了热丝法生长金刚石膜中未经划痕处理的单晶硅衬底在不同沉积时间下的表面结构及Si,C,O元素浓度的深度分布。结果表明:在沉积过程中,随沉积时间增加时,基材表面C浓度增加,O浓度下降,但SiC过渡层的生长缓慢。700℃沉积4h时仍无结构完整的SiC层生成,这是表面SiO2层阻碍了SiC的形成。分析了不经划痕处理的基材形核率低的原因。用高分辨电镜(HREM)观察了生长良好的金刚石膜的膜—基界面,发现没有SiO2层存在。 相似文献
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实验以高含氢硅油(H-PSO)为原料, 在石墨材料表面制备SiC晶须, 利用“正交试验法”以结晶率为指标, 研究热处理温度(T)、保温时间(t)、保护性气氛流量(f)和基体孔隙率(P)这四个因素对SiC晶须生成的影响。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱及X射线衍射等测试手段, 分析了SiC晶须形貌及结构特点。实验结果表明, 热处理温度是影响SiC晶须生成最重要的因素, 其影响程度远远大于其他参数, 其次是气流量、孔隙率和保温时间。安全流量范围内, 较高的气流量使SiC晶须生成反应充分进行; 较小的孔隙率有利于SiC晶核的长大; 高的热处理温度及长的保温时间能促进SiC晶须的继续生长。SiC晶须是以SiC晶相为核, 以硅的氧化物为壳的核壳结构。 相似文献
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国内首次利用固源分子束外延(MBE)技术,在衬底温度为1100℃时,以Si(111)为衬底成功地外延生长出了3C-SiC单晶薄膜。通过X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)以及原位反射高能电子衍射(RHEED)等手段研究了外延薄膜的晶型、结晶质量、外延膜与衬底的外延取向关系,并考察了薄膜制备过程中衬底的碳化对薄膜质量的影响。结果表明,外延膜与衬底晶格取向完全一致;碳化可以减小SiC和衬底Si之间的晶格失配、释放应力、引入成核中心,有利于薄膜单晶质量的提高;碳化温度存在最佳值,这一现象与成核过程有关。 相似文献
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用MOCVD方法在Si基片上生长了Al掺杂的SiC薄膜,发现三甲基铝(TMA)源载气流量与硅烷流量之比的大小,会决定薄膜的导电类型。用XPS方法测试样品后发现,TMA载气流量与硅烷流量比直接影响Al原子在SiC薄膜中的含量。Al含量在1.5%以下,Al原子在SiC薄膜中主要以填隙形式(Ali)存在,薄膜显示出n型;而Al含量在1.5%~3%之间的时候,Al原子主要以替位Si(AlSi)的形式存在,薄膜显示出p型。继续增加掺杂源的流量,所得SiC薄膜结晶质量会变得较差,电阻也变得较高。 相似文献
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用MOCVD方法在柔性金属衬底上沉积超导膜是潜在的实用高温超导成材方法。用适当方法原位快速地制备有择优取向的防扩散过渡层是其中的关键。本文报导用有机源Y(dpm)_3和Zr(dpm)_4,采用MOCVD方法在Ni基合金衬底上沉积了Y稳定的ZrO_2立方相过渡层,厚度约0.5μm。文中研究了氧分压和沉积温度对YSZ结晶和择优取向的影响。结果表明,在生长压力为130Pa时,氧分压低至20Pa,制备出(111)取向为主的YSZ多晶膜,氧分压为50~100Pa,则制备出(h00)择优取向为主的YSZ膜。衬底温度太低,将导致YSZ膜质量变差。 相似文献
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用MOCVD方法在柔性金属上衬底上沉积超导膜是潜在的实用高温超导成材方法。用适当方法原位快速地制备有择优取向的防扩散过渡层是其中的关键。本文报导用有机源Y(dpm)3和Zr(dpm)4,采用MOCVD方法在Ni基合金衬底上沉积了Y稳定的ZrO2立方相过渡层,厚度约0.5μm。文中研究了氧分压和沉积温度对YSZ结晶和择优取向的影响。结果表明,在生长压力为130Pa时,氧分压低至20Pa,制备出(11 相似文献
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针对采用线性无油直流压缩机的单门直冷式冷藏箱,试验分析蒸发器结霜对箱内温度波动幅度及开机率的影响,结果表明:蒸发器表面结霜会使箱内平均温度升高约1℃,蒸发器与箱内温度波动幅度均减小;调整至相同的箱内温度,蒸发器结霜可以使开机率降低0.9%~2.5%,从而降低系统能耗。 相似文献
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建立了某高速列车动力学模型及该列车一系悬挂阻尼三维结构原理图,基于该结构研究了列车一系悬挂阻尼常见的失效形式,并仿真分析了一系悬挂阻尼发生故障对车辆运行品质的影响。研究结果表明:一系悬挂阻尼常见故障主要由骨架密封磨损严重、O型圈老化严重、油液乳化等引起;当每辆车1个或每辆车2个一系悬挂阻尼发生故障,车辆横向及垂向平稳性受影响较小,其指标恶化率小于5%,但对舒适性有一定影响,舒适性指标恶化率最高可达15%;当车辆一系悬挂阻尼全部发生故障,其运行品质存在显著恶化,而舒适性恶化最为严重,其指标恶化率达186%。 相似文献
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基于Web的产品信息发布技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
与传统的产品宣传手段相比,基于Web的产品信息发布系统以其独有的优势正成为目前国内外企业推广产品的主要方式。阐述了基于Web的产品信息发布系统的概念和特点,对客户机/服务器模式和浏览器/服务器模式的优、缺点进行了比较。概述了XML、Flash、Cult3D和Viewpoint等网络产品信息发布相关技术的发展现状、特点及应用,对今后基于Web产品信息发布方式的方向进行了展望。 相似文献
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在各级政府质量奖的推动下,卓越绩效模式(PEM)在广东省大范围地推广开来.研究如何有效地为企业导入卓越绩效模式,在导入工作前期具有非常重要的意义.本文探讨了“创建标准化良好行为企业(GSP)”对导入PEM的基础性和支撑性作用,确立了以GSP为基础导入PEM的工作模式. 相似文献
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通过对不同孔隙特征的加气充填混凝土试样沿发气方向进行切割和截面图像提取,采用Matlab对试样截面图像进行分析和统计计算,分别对各组试样的孔隙特征进行了表征;测试了试样各养护龄期的比强度、吸水率、体积膨胀率、冻融后的抗压强度损失率和质量损失率,以分析孔隙特征对加气充填混凝土力学性能和抗冻性的影响。结果表明:采用图像法对加气充填混凝土截面照片进行信息采集,通过Matlab的统计计算,可实现对该加气充填混凝土宏观孔和细观孔的信息提取与表征;大于5.00mm的孔隙占比越大,平均孔径差值c越大,反映出联通孔的相对数量越多,则试样的比强度越低,吸水率越大,体积膨胀率越小,抗冻性越差,反之,试样的比强度越高,吸水率越小,体积膨胀率越大,抗冻性越好;以两种细度混合的铝粉膏作为引气剂可以有效降低该加气充填混凝土连通孔的相对数量。 相似文献
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Zhiguo LiTianxing Niu Zhenjiang Zhang Guiying FengShuping Bi 《Thin solid films》2011,519(13):4225-4233
In this article we investigated the effect of solvents (CCl4, CH3CN, DMF, ethanol, ethanol-H2O and H2O) on self-assembly of Thioctic acid (TA) and Mercaptohexanol (MCH) on gold by cyclic voltammetry (CV) and electrochemical impedance spectroscopy (EIS). Electrochemical characteristics of TA and MCH self-assembled monolayers (SAMs) formed in different solvents were evaluated by inspecting the ions permeability (interfacial capacitance C and phase angle Ф1 Hz) and electron transfer capability (current density difference Δi and charge transfer resistance Rct). Experimental results indicated that the ability of solvents availing the ordering of SAMs was: for TA, CCl4 > ethanol > CH3CN > ethanol-H2O > DMF; for MCH, H2O > ethanol-H2O ≈ CCl4 > ethanol ≈ CH3CN > DMF. Through relating the C, Ф1 Hz, Δi and Rct of SAMs (TA and MCH) with parameters of solvent (polarity ETN, solubility parameter δ and octanol/water partition coefficients logPow), it was found that solvents with bigger logPow (smaller ETN and δ) availed the ordering of TA-SAMs but the effect of solvents on MCH self-assembly was complex and MCH-SAMs formed in H2O (the biggest ETN, δ and the smallest logPow) and CCl4 (the smallest ETN, δ and the biggest logPow) were more ordered than in other solvents. 相似文献