基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工北大核心CSCD

利用波长为248nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS),研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题,研究了准分子激光加工PZT微结构的性能。通过调整准分子激光器的激光脉冲能量、脉冲频率、扫描速度及扫描次数等参数,获得了加工参数及其与PZT沟槽加工深度和宽度的关系。研究了辅助气体对准分子激光加工PZT表面粗糙度的影响。用准分子激光器制备了基于PZT-Si复合材料的微悬臂梁和微膜片,并测试了其压电性能。结果表明,利用准分子激光器加工的2种PZT微压电结构具有良好的压电性能,可作为微压电驱动器的关键器件,验证了用准分子激光器加工PZT微结构的可行性。     

高重复频率大功率准分子激光器

准分子激光器是紫外区的一种大功率激光器，与采用CO2激光器或YAG石榴石 激光器的传统热加工不同，用准分子激光器有可能进行非热平衡、低温和微细加工。因此，这种激光器将来很有可能用作新一代半导体处理的光源。     

准分子激光开辟工业市场新格局

准分子激光开辟工业市场新格局近几年来，准分子激光器已经悄然地从物理学家的“玩具’变成了有用的工业和医学工具。准分子激光器市场的认可和成长壮大的背后存在着两种推动力量：一是常规工业的小型化趋向使得人们对新的微型加工方法的需要日益增长，而准分子激光器正好...     

用于激光加工的激光器及其特点

激光最大的应用领域之一是材料加工，激光器已把自己确立为一种不可缺少的工业工具。ＣＯ２、Ｎｄ：ＹＡＧ和准分子激光器是当前用于材料加工的三种主要的激光器。半导体激光技术的迅速发展使得二极管激光器、二极管泵浦全固体化激光器、光纤激光器和超短脉冲激光器在工业应用中有了光明的前景。     

以准分子激光器为中心的新激光器的研究和动向

对于作为紫外波段和真空紫外波段中高输出、高效率激光器的准分子激光器来说，七十年代正是黄金时代。如表1所示，自1972年真空紫外激光器出现以来，研究了许多真空紫外准分子激光器、紫外准分子激光器。最近，可见波段准分子激光器的研究也兴盛起来(参看表1)。     

我国准分子激光器研究的最新进展

准分子激光器的研究是目前世界上激光研究领域里最活跃的课题之一。准分子激光波长在紫外和真空紫外。准分子激光器具有高功率、高效率、高能量及在宽波段内波长的连续可调谐性。在国外已成功地应用于科学研究、工业化学合成、医学、微电路加工等领域。我国准分子激光器的研究及其应用取得了一定进展。高功率小型准分子激光器及实用型准分子激光器研制成功标志着这种新型激光器件向实用化迈进了一大步。一、近年来我国准分子激光器研究的概况最初几年里,准分子激光器的研究主要是     

新颖的光束整形光学系统扩大了准分子激光器的应用范围

准分子激光器在紫外波段发出的高脉冲能量和高平均功率的光束具有极好的稳定性，因此在诸多工业和科学研究领域的应用范围不断扩大。然而，大多数准分子激光器产生的矩形光束必须通过光学系统再整形方能满足激光加工的需要。由于准分子激光器输出光束的形状和强度分布不能用简单的光学系统进行变换，为此德国Lambda Physik公司开发了一种准分子激光束再整形用光学系统以满足各种应用的要求，如平板显示器制造中的硅退火和用光掩模写入的微细加工等。     

准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究

用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法。     

准分子激光精细加工粉末材料的研究

采用波长 2 48nm的krF准分子激光器 ,通过掩模投影直刻方式对铅粉、铝粉以及氧化锌纳米粉的精细加工进行了研究。结果表明 :在同样条件下 ,准分子激光对于氧化锌纳米粉和铅粉、铝粉两种金属粉末的加工机理有所不同。本文初步分析了几种激光加工工艺参数对于加工质量及加工机理的影响。其中激光能量对加工质量的影响较大     

飞秒激光加工

1　前言随着新激光装置的开发 ,激光加工技术也取得了巨大进展。 6 0～ 70年代是 YAG激光器与 CO2 激光器的时代 ,主流是金属加工。进入 80年代后 ,准分子激光器登场 ,发展为利用它的短波长对聚合物、瓷器等非金属材料进行精密加工。进入 90年代后 ,飞秒钛蓝宝石激光器进入了加工领域。其背景是时代对各种材料要求更精密的加工技术以及随着激光技术的进步 ,可以容易地得到飞秒领域的超短脉冲激光。的确 ,准分子激光器与以往的 YAG激光器及 CO2 激光器相比 ,可以用于更精密的加工 ,但不适合金属材料的加工。而 YAG激光器与 CO2 激光器…     

准分子激光的应用

本文介绍了准分子激光器的基本类型、主要应用领域及其与材料相互作用的机理。对准分子激光在电子工业、生物医学和材料加工方面的一些重要应用做了比较详细的论述。     

准分子激光微细加工技术

准分子激光器是一种高功率、高效率的紫外激光器,在未来利用紫外光技术的光产业中具有独特的作用。目前已在激光化学、激光生物医学和激光新材料等科学领域中显示出潜在的活力。然而最活跃的是准分子激光微细加工技术。图1给出了半导体材料主要加工技术的发展概况。从图1可以看出激光微细加工在半导体技术中的重要地位。本文对该领域的激光曝光、激光CVD、激光掺杂和激光刻蚀技术等四个方面作简要的介绍。     

100瓦准分子激光器

三菱电机应用机器研究所，研制成可大幅度提高准分子激光器输出功率的“面预电离高重复率准分子激光器”，预期用于材料与部件加工。将沿着电介质表面发生的表面放电作为预电离源利用，是该公司独有的方法，用这一方法试制成100瓦级XeCl准分子激光器。该公司还以此为基础，参加了通产省工业技术院大型计划“超尖端加工系统”，计划于1991年达到500瓦，1993年达到2000瓦。     

工业大功率激光器的最新进展

材料加工用激光器主要有4种类型：准分子激光器、固体激光器、二极管激光器和本文重点讨论的大功率CO2激光器，其中轴快流CO2激光器输出的激光束亮度与费用之比是其他激光器无可比拟的，所以这种激光器在平板材料激光切割应用中占据优势。近20年来，这种激光器的输出功率以每4年就增加1kW的速度发展，推动了整个金属板材加工业不断取得新进展。具有输出功率2kW，扩散冷却环形发射CO2激光器能够使安装有激光器的机器人执行三维加工。     

以激光去除绝缘材料

激光一般用来去除金属导体上覆盖的有机绝缘材料。这项工作大多通过CO2和准分子激光器来完成，但有些公司提供固体激光器的工具成品来进行高产量打孔作为标准产品。本文讨论三种借助激光进行选择性材料去除的典型应用：导线外层护套的剥除、柔性电路加工和paralene的去除。本文将它们作为说明实例而不是对本主题的综合论述，其中还包括印刷电路板打通孔［1，2］、多芯片组件制造、在薄膜上制作布线图案等。当考虑用于特定生产工作时，每种激光器都有各自的长处和不足。准分子激光器能产生最高的质量指标和最小的特征分辨率，但通常是最慢、…     

准分子激光的新进展

七十年代中期，准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标，使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来，准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时，继续发展新的泵浦技术和新的体系，并用准分子激光器作为泵浦源产生新的激光辐射。本文就以上几个方面综述最近的进展。     

准分子激光推动集成电路光刻

87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上 重要的事件是，GCA公司宣布了第一个分辨率为0.5纳米的基于准分子激光器的印刷系统将在1987年第二季度推出。这次会议还介绍了另外几种准分子激光器，并讨论了透镜、光敏电阻和控制激光线宽的重要性。     

20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器

自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来，这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来，在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中，所需要的激光平均功率也日益提高，     

激光技术与应用

激光焊接微塑料元件；电子元件生产中的激光再加工；用激光加工使微流体元件快速成型；激光精细加工光学生物芯片；采用准分子激光器制作光电印刷线路板中的微反射镜。     

高级紫外准分子激光器加工

高能准分子激光器对于激光微加工来说具有极佳的灵活性,因为实际上每种加工的材料都应该具有准确高分辨率的材料烧蚀特性,并且不需要后续处理。紫外激光器直接输出需要的上转换能级的紫外（UV）光子很容易达到几百瓦的功率输出,这对于制造加工的高生产力和大规模生产是很关键的。特别是大平项准分子激光的外形非常适合于两维和三维微加工的高效并行加工。还将介绍特别适合于材料烧蚀和表面活化的紧凑微加工概念。