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| 计量光栅的制造 | |
| 引用本文： | 曹向群,黄维实.计量光栅的制造[J].仪表技术与传感器,1980(2). |
| 作者姓名： | 曹向群 黄维实 |
| 作者单位： | 浙江大学光仪工艺组，浙江大学光仪工艺组 |
| 摘 要： | 一、概况自从莫尔条纹技术在计量、测定、自动控制等各个技术领域广泛应用以来,计量光栅的需要量与日俱增,精度的要求也在不断提高。于是人们对提高光栅的制作精度和效率,进行了各种试验研究,从而使计量光栅制造技术得到了迅速的发展。在50年代初,英国制造长光栅一般采用梅顿法,制得的是闪耀光栅,因而取得的光电讯号强,讯号质量好,便于电子学处理。到60年代中,由于光敏元件质量和电子插补技术的提高,因而可用黑白光栅代替闪耀光栅,这样各国较多地采用光学优生法制造照相光栅,这大大提高了生产效率,并也提高了精度。目前,由于光栅制造技术及检测方法有了 |
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