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本文介绍了自行设计研制的目视鉴别率测试仪及其光路图和鉴别率图案,着重介绍用该仪器与在光具座和传递函数仪上的对比测试,被测试的物镜,在3种仪器上被测时偏心较大,然后该物镜进行重新装配,校正中心,又一一测试数据,最后给出初测和复测对比测试数据,用3种方法测出的物镜的数据,在判定物镜优劣性能时甚为一致。 相似文献
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高温热氧化中SiO2层厚度的控制研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了Si热氧化的工艺过程和温度曲线,对热氧化生成的SiO2层厚度进行了理论计算和实际测定;并列出了7个SiO2样品的干,湿氧时间,理论计算值,实测值及产生的误差值,多数样件可控制在15%左右(最优达70%);介绍了控制干,湿氧不相互干扰的管路系统,稳定水浴湿度95℃的方法,分析了影响SiO2层厚度的石英管口径及氧气流量等因素。 相似文献
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圆光栅均匀性误差是圆光栅质量的重要指标之一,本文详细论述了圆光栅均匀性误差,并且提出了几种减小或消除这一误差的措施。 相似文献
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一、概况自从莫尔条纹技术在计量、测定、自动控制等各个技术领域广泛应用以来,计量光栅的需要量与日俱增,精度的要求也在不断提高。于是人们对提高光栅的制作精度和效率,进行了各种试验研究,从而使计量光栅制造技术得到了迅速的发展。在50年代初,英国制造长光栅一般采用梅顿法,制得的是闪耀光栅,因而取得的光电讯号强,讯号质量好,便于电子学处理。到60年代中,由于光敏元件质量和电子插补技术的提高,因而可用黑白光栅代替闪耀光栅,这样各国较多地采用光学优生法制造照相光栅,这大大提高了生产效率,并也提高了精度。目前,由于光栅制造技术及检测方法有了 相似文献
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光电编码器在计测、自控、机床、计算机、机器人等行业中有广泛应用,其核心部件是光栅副。本文对光栅副中的动光栅因偏心而带来的对精度、条纹宽度、相位变化等参数的影响作了详细的分析,可以看到偏心对这些参数有比较大的影响,因而在调整过程中,力争把动光栅中心调整得与其旋转中心同心。 相似文献