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| 多晶硅微型电极阵列的研制 | |
| 引用本文： | 吴英,江永清,温志渝,张正元.多晶硅微型电极阵列的研制[J].半导体光电,2005,26(4):317-319. |
| 作者姓名： | 吴英 江永清 温志渝 张正元 |
| 作者单位： | 1. 重庆科技学院,重庆,400050;清华大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 2. 重庆光电技术研究所,重庆,400060 3. 重庆大学光电工程学院,重庆,400044 |
| 摘 要： | 讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法.实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化电极的设计及研制提供了新的思路和方法. |
| 关 键 词： | MEMS 微型电极阵列 多晶硅 多晶硅 微型 微电极阵列 Silicon Substrate Array Polycrystalline Silicon 小型化 工作电压 芯片器件 MEMS 影响 制作方法 利用 结果 实验 设计 侧壁 沟道 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)04-0317-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-23 |
| 修稿时间： | 2005年3月23日 |
Development of Polycrystalline Silicon Micro-electrode Array on Silicon Substrate |
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| WU Ying,JIANG Yong-qing,WEN Zhi-yu,ZHANG Zheng-yuan.Development of Polycrystalline Silicon Micro-electrode Array on Silicon Substrate[J].Semiconductor Optoelectronics,2005,26(4):317-319. | |
| Authors: | WU Ying JIANG Yong-qing WEN Zhi-yu ZHANG Zheng-yuan |
| Abstract: | The limitation of pn.junction in the fabrication of silicon micro-electrode is discussed. A simple method to develop polycrystalline silicon micro-electrode array at the both sides of the channel is proposed. By this way,the influence of pn junction is reduced. The electrode array that can provide separation electrical field for some separation techniques as capillary electrophoresis is presented,which give a new idea to the integration design of the miniature chip. |
| Keywords: | micro electro-mechanical system micro-electrode array poly-silicon |
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