| 压电型惯性微驱动器研究 |
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| 引用本文： | 卢秋红,高志军,颜国正,颜德田.压电型惯性微驱动器研究[J].压电与声光,2004,26(2):112-115. |
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| 作者姓名： | 卢秋红 高志军 颜国正 颜德田 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,电子信息学院精密工程及智能微系统研究所,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家十五"八六三"计划基金资助项目(2001AA422210) |
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| 摘 要： | 提出基于惯性-摩擦的新型压电驱动方式,设计出可实现直线运动和圆周运动的压电微型驱动器。对微驱动器进行了动力学建模,给出了试验结果及分析,并讨论了驱动器的应用方向。
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| 关 键 词： | 压电效应 微驱动器 惯性-摩擦 |
| 文章编号： | 1004-2474(2004)02-0112-04 |
| 修稿时间： | 2002年11月22 |
The Study on Miniature Inertial Piezo-actuators |
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| LU Qiu-hong,GAO Zhi-jun,YAN Guo-zheng,YAN De-tian.The Study on Miniature Inertial Piezo-actuators[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2004,26(2):112-115. |
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| Authors: | LU Qiu-hong GAO Zhi-jun YAN Guo-zheng YAN De-tian |
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| Abstract: | The inertia-friction piezoelectric driving mode has been brought forward in this paper. Based on this theory, a miniature piezo-actuator which can realize linear and circumferential motion has been designed. The authors made dynamics models to analyze the microactuators, presented and analyzed the experimental results, and discussed the application direction. |
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| Keywords: | piezo effect microactuator inertia-friction |
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