| 一种多晶硅高温压力传感器 |
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| 引用本文： | 张荣,曲宏伟.一种多晶硅高温压力传感器[J].微电子学,1998,28(6):437-439. |
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| 作者姓名： | 张荣 曲宏伟 |
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| 作者单位： | 天津大学电子工程系 |
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| 摘 要： | 制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好，精度高等特点，电路工作范围为０－２５０℃，且具有良好的温度稳定性。
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| 关 键 词： | 传感器 压力传感器 多晶硅 介质隔离 |
A Poly Silicon High Temperature Pressure Sensor |
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| ZHANG Rong,QU Hong Wei,WANG Yong Ping,YAN Fu Lan,CUI Jin Biao,TIAN Li Ping and ZHANG Wei Xin Dept.Electronics Engineering,Tianjin University,Tianjin.A Poly Silicon High Temperature Pressure Sensor[J].Microelectronics,1998,28(6):437-439. |
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| Authors: | ZHANG Rong QU Hong Wei WANG Yong Ping YAN Fu Lan CUI Jin Biao TIAN Li Ping and ZHANG Wei Xin DeptElectronics Engineering Tianjin University Tianjin |
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| Affiliation: | ZHANG Rong,QU Hong Wei,WANG Yong Ping,YAN Fu Lan,CUI Jin Biao,TIAN Li Ping and ZHANG Wei Xin Dept.Electronics Engineering,Tianjin University,Tianjin,300072 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sensor Pressure sensor Polysilicon Dielectric isolation EEACC 7230 |
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