| 用于5～6GHz无线局域网的硅螺旋电感设计 |
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| 引用本文： | 孙龙杰,杨波,郭理辉.用于5～6GHz无线局域网的硅螺旋电感设计[J].半导体学报,2006,27(5):892-895. |
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| 作者姓名： | 孙龙杰 杨波 郭理辉 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子研究所，西安 710071;西安科技大学微电子研究所，西安 710075;西安科技大学微电子研究所，西安 710075;西安科技大学微电子研究所，西安 710075 |
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| 摘 要： | 提出一种设计和优化电感版图结构的方法.采用低电阻系数硅衬底和0.18μm Cu/SiO2互连工艺技术,设计出一组工作在5.7GHz的电感,同时优化了版图结构,例如内部磁芯大小、线圈宽度、线圈间距(0.2～11nH)等.与使用原有设计方法测出的电感的Q值相比,经过优化的5.7GHz电感的Q值可改进到5～8.
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| 关 键 词： | 射频电感 结构优化 仿真 无线局域网 无线局域网 螺旋 电感设计 Used Spiral Inductors Silicon Design 改进 设计方法 使用 圈间距 宽度 线圈 大小 磁芯 同时优化 工作 工艺技术 硅衬底 电阻系数 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)05-0892-04 |
| 收稿时间： | 09 6 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 10 31 2005 12:00AM |
Design of Silicon Spiral Inductors Used for 5～6GHz Wireless LAN |
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| Sun Longjie,Yang Bo and Guo Lihui.Design of Silicon Spiral Inductors Used for 5～6GHz Wireless LAN[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(5):892-895. |
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| Authors: | Sun Longjie Yang Bo and Guo Lihui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RF inductor structure optimization simulation WLAN |
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