| MISiC高温氢气传感器研究 |
| |
| 引用本文： | 陈卫兵,宋跃.MISiC高温氢气传感器研究[J].微电子学,2003,33(5):380-382. |
| |
| 作者姓名： | 陈卫兵 宋跃 |
| |
| 作者单位： | 1. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;湖南科技大学信息与电气工程学院,湖南,湘潭,411201
2. 湖南科技大学信息与电气工程学院,湖南,湘潭,411201 |
| |
| 摘 要： | 文章报道了采用NO直接氧化制备氮化氧化物作绝缘层，制备高灵敏度MISiC肖特基二极管式高温气体传感器的技术。采用NO直接氧化法，改善了器件的界面特性．实验结果显示，采用该方法制作的传感器具有高响应灵敏度和良好的响应重复性。
|
| 关 键 词： | 碳化硅 氢气传感器 肖特基二极管 高温传感器 氮化氧化物 NO直接氧化法 一氧化氮 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)05-0380-03 |
| 修稿时间： | 2002年9月29日 |
An MISiC High Temperature Hydrogen Sensor |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Silicon carbide Schottky diode Hydrogen sensor High temperature sensor Oxynitride |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
