| 基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制 |
| |
| 引用本文： | 陈兴林,刘川,周乃新,王斌.基于ZPETC-FF和DOB的精密运动平台控制[J].哈尔滨工业大学学报,2014,46(1):1-6. |
| |
| 作者姓名： | 陈兴林 刘川 周乃新 王斌 |
| |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 航天学院, 150001 哈尔滨;哈尔滨工业大学 航天学院, 150001 哈尔滨;哈尔滨工业大学 航天学院, 150001 哈尔滨;哈尔滨工业大学 航天学院, 150001 哈尔滨 |
| |
| 基金项目： | 国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207). |
| |
| 摘 要： | 光刻机的工件台和掩模台采用长行程直线电机宏动跟随平面电机高精密微动的复合运动方式,实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位. 为减小平面电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机精密运动平台的跟踪精度. 提出一种零相位误差跟踪控制器加前馈(ZPETC-FF)和干扰观测器(DOB)相结合的复合控制方法,以提高直线电机宏动精密运动平台的运动精度. ZPETC-FF作为前馈跟踪控制器,有效提高了系统带宽和跟踪性能,减小了系统的动态跟踪误差；DOB作为鲁棒反馈控制器,补偿了外部扰动、未建模动态和系统参数摄动等,有效提高了系统的抗干扰能力. 实验表明,所提出的控制方法与传统的控制方法相比,不仅提高了系统的动态跟踪性能,而且还具有更强的抗干扰能力.
|
| 关 键 词： | 光刻机 工件台 零相位跟踪控制 干扰观测器 高动态精密伺服 |
| 收稿时间： | 1/9/2013 12:00:00 AM |
Controller design based on ZPETC FF and DOB for precision motion platform |
| |
| CHEN Xinglin,LIU Chuan,ZHOU Naixin and WANG Bin.Controller design based on ZPETC FF and DOB for precision motion platform[J].Journal of Harbin Institute of Technology,2014,46(1):1-6. |
| |
| Authors: | CHEN Xinglin LIU Chuan ZHOU Naixin and WANG Bin |
| |
| Affiliation: | School of Astronautics, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China;School of Astronautics, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China;School of Astronautics, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China;School of Astronautics, Harbin Institute of Technology, 150001 Harbin, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | lithography wafer stage zero phase error tracking controller (ZPETC) disturbance observer (DOB) high dynamic precision servo |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《哈尔滨工业大学学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《哈尔滨工业大学学报》下载全文 |
|
