| 提高梳状一维PSD性能的研究 |
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| 引用本文： | 吴旭明,曹向群,唐九耀,陈钰清.提高梳状一维PSD性能的研究[J].光学仪器,2002(Z1). |
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| 作者姓名： | 吴旭明 曹向群 唐九耀 陈钰清 |
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| 作者单位： | 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心 浙江杭州310027
(吴旭明，曹向群，唐九耀)，浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心 浙江杭州310027(陈钰清) |
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| 摘 要： | 梳状一维位置敏感探测器是一种高精度的位置敏感探测器 PSD(Position Sensi-tive Detector)。反向击穿电压是 PSD器件的关键性能参数之一 ,目前国内的此类产品普遍存在反向击穿电压较低。为了改善 PSD的技术性能 ,详细分析了梳状一维 PSD反向击穿电压低的原因 ,并提出了几条有效的改进措施
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| 关 键 词： | 反向电压 位置敏感探测器 |
Research on the modification by improvement of ID comb-type PSD |
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| WU Xu ming,CAO Xiang qun,TANG Jiu yao,CHEN Yu qing.Research on the modification by improvement of ID comb-type PSD[J].Optical Instruments,2002(Z1). |
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| Authors: | WU Xu ming CAO Xiang qun TANG Jiu yao CHEN Yu qing |
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| Abstract: | A comb type PSD is a high accuracy position sensitive detector, the reverse breakdown voltage is main parameter, usally the reverse breakdown voltage of this manufacture is lower. Which factories were analyzed and the improvement step were listed in this paper. |
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| Keywords: | reverse voltage PSD |
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