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分类号
杂志ISSN号
MEMS技术应用日趋广泛
作者姓名:
Suki
摘 要:
编者按:MEMS(Micro Electro Mechanical System),即微电子机械系统,始于上世纪50-60年代,80年代迅速发展成为一门综合性新兴学科.微电子机械系统包括微能源、微驱动器、微传感器(如声、光、热、力、电等)、微控制器和微操作器等,集成于一个微小的空间,实现一种或多种设定的功能.
关 键 词:
MEMS
功能
空间
集成
微操作器
微控制器
微传感器
微驱动器
微能源
新兴学科
综合
发展
微电子机械系统
Micro
Mechanical
System
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