6英寸晶闸管的研究开发与特性控制

基于5英寸晶闸管设计与工艺制造技术，通过优化芯片参数，包括扩散杂质分布、光刻版设计、台面终端电场强度的控制及芯片封装结构的改进，设计并制造了用于特高压直流输电的，额定电流电压等级为4000A／8000V的6英寸晶闸管。采用电子辐照技术，实现了静态参数与动态特性的有效折衷。成功研制的这种器件具有短路电流高、动态特性好等特点，并在6英寸换流阀晶闸管测试试验平台上进行了各种试验和检验。