应用于LOCOS隔离工艺的平坦化技术研究

介绍了LOCOS隔离技术的原理,研究了应用于LOCOS工艺的反刻平坦化技术,通过调整刻蚀中反应气体流量等工艺参数,在CHF3流量50 mL/min、O2流量2 mL/min条件下,获得了较好的平坦化表面。研究了应用于LOCOS工艺的CMP平坦化技术,通过调整CMP压力、转速、流量等工艺参数,控制了抛光速率和精度,提高平坦化的均匀性,在工艺条件为压力1psi(1 psi=6.89×103 Pa),转速25 r/min,流量120 mL/min时,获得了良好的平坦化形貌。通过实验对比发现,CMP平坦化效果优于反刻平坦化,适合于实际生产应用。     

用于自对准Si MMIC的等平面深槽隔离工艺(英文)

研究了在自对准硅MMIC中等平面深槽隔离工艺的实现。该工艺包括如下过程:首先应用各向异性刻蚀的Bosch工艺刻蚀出用于隔离埋集电极的1.6μm宽、9μm深的隔离槽,接着对隔离槽通过热氧化二氧化硅、淀积氮化硅和多晶硅的形式进行填充,然后再采用高密度等离子体刻蚀设备对多晶硅进行反刻,其刻蚀时间通过终点检测系统来控制,最后再刻蚀出0.8μm深的有源区硅台面和采用1.5～1.6μm厚的氧化层对场区进行填充,藉此来保证隔离槽和有源区处于同一个平面上。此深槽隔离工艺与目前的多层金金属化系统兼容,且该工艺不会造成明显的硅有源区台面缺陷,测试结果表明:在15 V下的集电极-集电极漏电流仅为10 nA,该值远低于全氧化填充隔离槽工艺的5μA。     

关于“多桩型复合地基设计计算方法探讨”的讨论

闫明礼等同志的“多桩型复合地基设计计算方法探讨”(《岩土工程学报》2003年第3期,以下简称“原文”)一文,学习后很感兴趣。现将两点看法,提出与作者商榷。 原文的基本思路是将天然地基与主控桩复合形成复合地基,视为一新的等效天然地基,其承载力特征值为fspkl,再将等效天然地基与辅桩形成复合地基,以求得这两种桩构成的复合地基承载力。此时辅桩的置换率m2应该是针对等效天然地基而言,置换出的m2部分等效体中包含了相应与m1部分的主桩桩体。这并非真实情况,实际上辅桩只是置换出主桩间的桩间土,不含任何主桩部分,故所得结果偏小。其实m1、m2都是相对天然地基土的置换率。笔者认为不论是单桩型复合地基或多     

沈阳15~#水源地复合介质渗透反应格栅(M-PRBs)地下水原位修复技术施工工艺浅析

本文介绍了在砂砾石地质条件下无泥浆成孔、构筑连续反应墙的施工方法,且要求施工过程不对地下水产生二次污染,含水层渗透系数损失不超过10%。为在有类似地质条件和类似工艺要求的其他工程提供了可借鉴的经验。     

地铁消防联动控制的设计

结合广州地铁三号线主控系统的工程项目,针对地铁消防联动控制的设计进行了一些有益的探讨。     

基于CANopen的轻轨牵引变流器网络控制系统

轻轨以其舒适、快捷、便利等特点成为人们出行的一种重要运输工具,为缓解城市交通拥堵做出突出贡献。轻轨牵引变流器负责为车辆提供牵引力,其可靠运行关系整个车辆的安全行驶。文中采用CANopen通信技术,针对轻轨车辆牵引变流器设计了新型的网络控制系统,负责车辆各牵引单元的实时控制和数据通信,详细阐述了CANopen网络控制系统的设计过程,并通过CAN分析仪对网络控制系统的运行数据进行监测,验证了CANopen网络控制系统的可行性及其通信的正确性。     

猪尾猴疟原虫卵囊发育和子孢子逸出方式的扫描电镜研究

本文首次描述了猪尾猴疟原虫大劣按蚊体内卵囊发育和子孢子逸出方式的扫描电镜观察结果。感染猪尾猴疟原虫的大劣按蚊分别在感染后的第6、8、12天,在生理盐水下解剖,取出蚊胃,以2.5％戌二醛和1％锇酸作双固定。漂洗后以2％鞣酸浸泡三十分钟。经漂洗后,再分别以上述浓度的锇酸和鞣酸反复处理一次。然后经系列乙醇脱水,临界点干燥,金喷涂后在日立扫描电镜下观察与拍片。感染八天的卵囊表面结构有三种类型:光滑的,具皱纹的和蜂窝状的卵囊。感染十二天的卵囊表面结构只有光滑的和具皱纹的二种类型。根据光滑的和具皱纹的卵囊内都能逸出成熟的子孢子,我们认为这两种类型的卵囊     

二阶环形间隔分类器

 采用二阶损失函数,提出了一种二阶环形间隔分类器,它运用超球面将两类训练样本隔开,同时最大化两类间隔.实验结果表明,不管是对平衡问题还是不平衡问题,所提出的二阶环形间隔分类方法都获得了比较好的分类效果.     

P波段900 W脉冲功率LDMOS器件的研制

设计并制作了一种50 V窄脉冲工作的P波段大功率横向扩散金属-氧化物-半导体场效应晶体管(LDMOSFET)。在P波段、工作电压50 V、工作脉宽100 μs和占空比10%的工作条件下,该器件的带内输出功率大于900 W,功率增益大于18 dB,漏极效率大于50%,抗驻波失配比大于5∶1,表现出了良好的性能。     

纸张麻花折子的应急处理

我厂~#6纸机在生产70～120g/m~2双胶纸时,常产生麻花折子纸病,尤其在生产低定量纸张时纸病更为严重。我们采取在纸轴上麻花折子产生的部位垫纸作为消除折子的应急办法,效果较好。具体作法是:在麻花折子时,很快将从切纸机上切下的与麻花折子宽度一样、长约几米的纸条缠绕在纸轴上麻花折子产生的部位,一般缠2～3层即可。这种办法具有不耽误生产、消除纸病较快速的优点。