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1.
本文介绍沟道-背散射分析的实验装置。用沟道-背散射方法进行了辐射损伤测定、表面组分分析、异质外延层的缺陷分析,得到了一些对半导体材料工艺、集成电路研制的有意义的结果。  相似文献   
2.
本文采用Li离子作为背散射-沟道实验的分析束来研究In_(0.75)Ga_(?)As/GaAs应变异质结的结构.沟道效应和角扫描的实验表明,由于晶格失配,异质结的点阵发生应变,晶格常数在生长方向产生~0.04A的拉伸或压缩,于是离子沟道在<110>倾斜方向发生0.9°的扭折,导致沿这个方向的严重退道.对较厚外延层的样品,除应变结构外,在生长过程中还形成失配位错结构及其他点阵缺陷,从而产生附加的退道。  相似文献   
3.
本文介绍了我国用于微区分析的MeV离子微探针设备及其在半导体集成电路中的应用,能量为2MeV的He~+束通过一套限束系统,然后由四单元四极磁透镜聚焦到样品表面的束直径为3μm,束流为300pA.利用该设备分析了半导体集成电路中几个不同区域的元素成份及深度分布.  相似文献   
4.
利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×1(?)3×1(?)3×2的可逆相变.  相似文献   
5.
将能量为150KeV、剂量为10~(14)~17~(17)/cm~2的砷离子注入(100)P型单晶硅,用~1.8MeV的He~ 束对注入砷的单晶硅进行背散射测量。讨论不同剂量和不同退火条件对砷在硅中浓度分布的影响。结果表明:R_P值随注入剂量的增加而逐渐减少,当剂量>5×10~6离子/cm~2时,变化更为显著。当热退火温度低于950℃时,砷的分布改变不明显,温度>1000℃时,分布曲线便偏离高斯分布。  相似文献   
6.
用背散射实验技术和俄歇电子能谱研究了250-450℃温度范围内 Pt/GaAs的界面性质.样品为在 n-GaAs上溅射 1000A|°的 Pt层.研究结果表明,在 300℃处理 20分钟后,界面产生固相反应.先是Ga原子向Pt扩散并溶于Pt形成固溶体,然后留下的As在界面处生成PtAs_2. 当退火温度高于400℃时,反应终止,生成GaPt和PtAs_2两平衡相,不再出现新相.  相似文献   
7.
针对铝拉丝油的润滑效果和使用寿命中存在的问题,研制了一种新型高速铝大拉机用拉丝油,经过测试其理化检测性能指标,选择最佳的配方并在上海某铝线厂进行铝杆拉制试验,试验结果表明该种拉丝油性能优良,很好地起到了拉丝润滑的作用,经济成本也较低。  相似文献   
8.
文中结合变压器检修维护过程中的几类常见故障进行总结分析,并提出切合实际的处理措施,可为变压器的安全运行、维护管理工作提供借鉴。  相似文献   
9.
反季节储水灌溉土壤水分有效性分析   总被引:4,自引:0,他引:4  
张敬平 《山西水利》2007,23(1):66-67
基于大田反季节灌溉试验,分析了在不同的灌水定额下,作物播种前和生育期内土壤含水量的变化以及土壤水分的有效性。研究表明:反季节储水灌溉后,植物对土壤水分的吸收利用率大大增加,有利于作物的正常生长;反季节灌溉灌水定额为3 000 m3/hm2时,土壤水分有效性最高。研究结果对于水资源的合理调配和解决来水与灌溉用水错位具有重要的意义。  相似文献   
10.
动物性食品中大环内酯类抗生素的HPLC分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
根据近几年国内外的发展趋势,综述动物性食品中大环内酯类抗生素的提取、净化等样品前处理方法和高效液相色谱分离及检测大环内酯类抗生素残留的条件,比较和讨论各种方法的特点和适用性。  相似文献   
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