电影经纬仪光学整体设计之一——作用距离估算

本文从光学信息传输过程的对比衰减和能量损失观点出发,采用传递函数的分析方法和光度学的能量综合计算给出各种典型情况的作用距离图表     

大视场近双远心光刻物镜系列设计

本文介绍一种光刻物镜结构型式,它具有象方远心物方近远心准衍射极限成象性能。采用本结构型式设计的光刻物镜系列,不仅在大的线视场范围内有很高的分辨率,而且还能保持较佳的套刻精度。设计中对高级象差以及弧矢象差均做了特殊考虑。最后给出光学参数分别为倍率г=10倍,数值孔径NA=O.28;г=5倍,NA=0.2物方线视场均为φ=140mm两种设计结果的传递函数曲线。     

采用激光和波带板的电视对准光学系统工程研究

本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均化、激光偏振态的传输和控制、激光背景噪音的抑制等。     

星敏感器单星模拟光源系统

在星敏感器的标定检测中 ,通常要求提供一个模拟星 ,以便在实验室内标定星敏感器 ,从而减少大气变化的影响。模拟星的设备通常称为星模拟器 ,它们提供相对被测物体无限远的点光源作为模拟星 ,对其大小、光度 (星等值 )、光谱特性、色温类型等进行严格模拟。对实现模拟单星的研究作了详细的介绍。     

新型 F·■镜头设计

本文论述了由多片分离弯月型透镜构成的 F·θ镜头,以及它在光焦度分配、象差校正、公差制定、成本分析等方面的设计工作。新型 F·θ镜头具有体积小、重量轻、使用普通光学材料、对制造误差灵敏的面数少等优点。     

等倍率大视场光刻物镜设计

本文探讨了对称远心光学系统作为等倍光刻物镜结构形式的理论依据。讨论了该物镜在满足衍射极限象质要求情况下如何控制高级象差的问题。最后给出一个相对孔径 D/f=1/2、线视场φ80mm、空间频率ν=200线/毫米时,MTF 为40%的设计结果。     

星体测量相机光学总体分析与系统设计

本文从光学信息传输观点出发,探讨星体测量相机光学设计中涉及到的有关目标、大气、仪器、接收器等光度特性和成象特性。并基于人眼对底片上目标象点的可探测性,进行星体测量相机拍摄能力估算。然后确定能够满足仪器所需要的拍摄的星等和星数的光学参数。进而再根据仪器的总精度要求提出光学系统象差校正的质量指标。为实现这一要求,分析了国外同类型仪器的各种光学系统。选择双高斯改进型物镜作为本相机的初始结构。采用自动光学设计方法,完成一个较高质量的光学系统设计。最后试用点列图和光学传递函数方法分别评价了光学设计的质量。加工装配后鉴定结果表明与理论分析计算结果基本相同。     

光学设计中的经济问题

本文探讨光学设计中涉及到的设计成本分析,光学材料成本分析,光学加工成本分析等经济问题。提出降低成本,提高经济效益的技术途径。     

0.8μm投影光刻物镜研制

介绍了０．８－１μｍ分步重复投影光刻机投影光刻物镜双远心成象原理及设计研制。所研制的ｇ线１／５精密投影光刻物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４５，视场１５ｍｍ＊１５ｍｍ，畸变不超过±０．１μｍ。