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为实现100nm步进扫描光刻机的运动控制精度,需要硅片台掩膜台系统的远程采样控制器的采样时钟满足微秒级同步要求.为此采用由同步动作控制器(SAC)发起同步信息,经自定义同步信号总线(SSB)传输,在各分散数字运动控制器中产生采样同步时钟的架构.提出采用现场可编程门阵列(FPGA)硬件完成光纤通信底层协议,引入信号传输优先级管理机制,实现采样同步时钟经各分散控制子系统的光纤通道传输到远程采样控制器的一致性,减少由标准光纤通信协议引起的额外时间开销.估算和实验结果表明:采样同步时钟传输延时约为0.55μs,各分散控制子系统的远程采样控制器接收到采样同步时钟的时延不确定性小于60ns.该采样同步时钟传输技术已成功应用于高速纳米级步进扫描光刻机系统. 相似文献
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随着我国经挤改革的深入,城建挡案在经挤建设、城市规划、建设、管理工作中产生的巨大作用,已被越来越多的人们所认识。本世纪末的住房制度的改革,为城市建设和城建档案工作带来了新的机遇,城建挡案工作如何跟上经挤建设的步伐,如何充分发挥城建档案的巨大潜能,笔者结合南宁市城建档案工作的实践,谈一些自己的看法。 相似文献
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