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在蓝宝石衬底表面无氮化、低Ⅴ/Ⅲ比的情况下,采用1200℃的衬底温度、5kPa反应室气压,用MOCVD方法在蓝宝石衬底上生长出了表面原子级光滑的AlN外延层.原子力显微镜测试表明其平均粗糙度为0.44nm,X射线衍射(0002)回摆曲线FWHM为166".实验结果和分析表明,极性和气相反应是影响AlN表面形貌的主要原因.以原子级光滑的AlN为模板生长出了高质量的高Al组分的n型AlGaN,证实了AlN模板具有较好的质量. 相似文献
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单轴对称工字形钢吊车梁,在不带制动结构时,扭转所产生的扇形应力不能随意忽略不计,采用以向弯曲公式进行强度计算,结果与实际出入较大,实例计算表明,应采用非采称弯曲原理计算。 相似文献
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