排序方式: 共有5条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
2.
自适应光学系统MEMS微变形镜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
指出了传统变形镜研究所面临的瓶颈,以及采用MEMS技术研究微变形镜的优点.介绍了利用静电力驱动的平板电容式分立式微变形镜.分析结果表明它具有比传统变形镜更优越的性能.指出了进一步研究与发展MEMS微变形镜还需要解决的若干重要问题. 相似文献
3.
4.
大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对微变形镜镜面残余应力变形问题,使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况,得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线,确定了特定应力下最佳的金属反射面大小;此外,还利用弹性系数可变的折叠梁对分立式微变形镜单元的静电力驱动进行了改进,有效地增大了分立式微变形镜的冲程,使其能对近红外光进行校正。 相似文献
5.
1