聚焦离子束工作原理及刻蚀性能研究

综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进行了硅悬梁微结构刻蚀加工。结果表明,国产聚焦离子束系统可满足硅微悬梁结构加工的应用需要。     

全自动太阳能电池测试分选设备的研制

太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完...     

(AgCu28)80InxSn(20-x)钎料的熔化特性及其铺展性研究

采用差示扫描量热仪研究了合金的熔化特性。结果表明：该合金在489～496℃处具有554～604℃两个明显的吸热带，添加11wt％的In时，其只存在496℃与603．6℃两个吸热峰。润湿与铺展性能测试表明该合金能很好地润湿紫铜，在In添加量大于12wt％时，随着In含量的增加铺展率变大。     

以太网通信在太阳能电池测试分选设备中的应用

太阳能电池测试分选设备用于晶体硅太阳能单体电池的性能测试和自动分选,位于太阳能电池生产的最后一道工序,由上料台、定位机构、传送装置、测试座、分选机构、太阳模拟器、控制系统等部分组成。介绍了中国电子科技集团公司第四十八研究所开发的国内首台全自动晶体硅太阳能电池测试分选设备,重点介绍了该设备太阳模拟器和控制系统之间的数据交换方式。即采用进口的高速高精度可编程控制器(PLC)为控制核心,通过以太网通信的方式实现了PLC和太阳模拟器之间的高速数据交换。     

LTCC专用烧结炉的应用及发展趋势

综述了LTCC烧结的原理、特点与技术要求。举例阐述了两种LTCC专用烧结炉在行业中的应用状况,指出了LTCC专用烧结设备在当前应用中存在的问题,并展望了发展趋势。     

Ga-Ag-Sn液态合金与Cu的结合界面分析

采用真空冶炼法制备了低熔点的Ga-Ag-Sn液态合金，分析了Ga含量与液态合金熔点的关系。利用X射线衍射仪、电子扫描显微镜和能谱等多手段对Ga95.0Ag0.15Sn合金与Cu基体的结合界面进行了分析。结果表明，Ga95.0Ag0.15Sn液态合金能与无氧铜基体发生互扩散，并形成致密且与基体结合良好的Ga-Cu界面层而能起到真空修复作用，界面层的相组成为Cu9Ga4相，Cu41Sn11相和α-（Cu，Sn）相。     

太阳能电池测试分选设备运动控制系统设计

太阳能电池测试分选设备用于晶体硅太阳能电池的性能测试和自动分选。介绍了中国电子科技集团公司第四十八研究所开发的全自动晶体硅太阳能电池测试分选设备的系统构成,重点对该设备的运动控制系统进行描述。在该设备中,以进口可编程控制器(PLC)为核心,通过采用高精度运动控制模块实现对分选机各功能部件的高精度运动控制。     

宽禁带半导体关键设备技术及发展

宽禁带半导体设备技术是宽禁带半导体器件的支撑和重要基础。简要介绍了宽禁带半导体器件发展面临的设备问题,重点介绍了碳化硅晶体生长炉、碳化硅外延生长炉、碳化硅离子注入机和氮化镓MOCVD四种制约我国宽禁带半导体器件技术发展的关键设备,指出了宽禁带半导体设备技术的未来发展趋势。     

电真空器件用Ga-Ag-Sn液态合金修复材料

根据镓合金低熔点的特性,利用组合二元相图法模拟了Ga-Ag-Sn三元相图,由此确定了Ga-Ag-Sn液态合金的合理配料区间。对Ga-Ag-Sn液态合金与无氧铜的界面进行了SEM和EDS研究,初步研究结果表明:Ga95.0Ag0.195Sn液态合金能与无氧铜基体发生互扩散,并形成致密且与基体结合良好的Ga-Ag-Sn/Cu界面层,从而起到真空修复作用。