高精度模糊自整定温度控制系统研究

针对半导体专用设备对温度的特殊要求,采用了一种基于模糊算法、对加热对象适应能力较强的变参数温度控制系统,通过在某半导体专用设备中使用考核,该控制系统控制精度、对控制对象的适应能力、抗冲击能力以及稳定性得到了很好地验证。     

步进电机加减速曲线的算法研究

阐述了加减速算法在步进电机控制系统中发挥的重要作用,分析了步进电机的梯形曲线、指数曲线和S形曲线等常用曲线加减速算法,介绍了一种能满足更高精度和速度平滑性的三角曲线加减速算法。最后总结了各算法的不同特性及具体应用场合。     

全自动键合机工艺调试方法

介绍新型金球键合机工艺调试过程,分析并解决调试过程中遇到的工艺问题。