刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究

450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。     

基于LoRa与UWB的复合全无线瓦斯抽采精准管控平台方案研究与应用

基于LoRa与UWB复合全无线智能传感,研究开发基于全无线智能传感在线监测的瓦斯抽采精准管控平台,实现瓦斯抽采分单元无线精确计量、抽采效果全过程智能评判、钻孔三维可视化管理、抽采效果分元智能评价、瓦斯防治信息管理、智能打钻管理等功能;建立一套信息化、智能化、可视化瓦斯精准抽采智能管控系统,为煤矿企业的瓦斯治理工作提供坚实的数据支撑,提升煤矿瓦斯防治信息化管理水平。     

HLA对象模型开发工具的设计

HLA对象模型开发工具OMDT,其功能设计包括文件操作、合法性验证、内容编辑.结构设计分为数据存储、数据结构交互、文件读写及界面编辑等部分.该工具还支持对象模型的合并,即在已有对象模型信息存储于数据结构情况下,读取另一个OMT数据文件并将其内容融入现有模型.     

降低立窑料球爆破率的措施

立窰料球爆破率高,会增加窰內阻力,造成通风不良,影响熟料产质量降低。为了探明引起料球爆破的原因,我們在試驗室进行了一些試驗研究,以便由此找出减少料球爆破的措施。一、料球爆破原因分析料球受热爆破主要由于产生两种內部破坏应力引起的:一种是料球突然受热,表面溫度高,发生急剧的体     

对立窑熟料性质的研究

水泥立窑是一种立式不动的煅烧设备,窑内物料自窑顶靠重力整体下移,逐步完成物料组分间的物理化学过程。由于物料颗粒不能沿径向或上下单个活动,每当断面上通风不均时,物料颗粒受热也不均匀,使立窑熟料质量差别甚大。为了探讨外观不同熟料产生的原因及其对水泥质量的影响,我们对几个立窑厂生产的熟料进行了物化性质的研究。一、试验结果及讨论我们在A、B、C三个机械化立窑厂和     

构件化仿真模型研究与自动化实现

为提高仿真系统的可扩展性、适应性、可重用性和互操作性等特性,将软件构件技术引入到仿真系统的开发中,对仿真模型构件进行深入的分析与研究,主要包括仿真构件的模型分析、仿真构件的元数据描述、仿真构件的实现结构分析。最后,设计并开发了仿真构件自动化开发工具,实现了仿真构件的代码框架自动生成与仿真构件的自动化组装。     

逆合成孔径雷达系统建模与仿真

逆合成孔径雷达(ISAR)可以获得运动目标的高分辨图像,具有广阔的应用前景,然而ISAR研究面临着缺乏实验平台和数据支撑的困难。首先,介绍了ISAR成像原理;然后,按照ISAR成像流程,将仿真系统划分为引导信息、回波信号、信号处理、二维成像、宽带识别等模块,建立了各个模块所包含的数学模型与仿真模型;最后,设计了ISAR数学仿真系统的系统功能和模块交互结构,给出了系统实现。应用表明,该系统具有灵活的内部结构和较为通用的交互接口,有利于不同算法的内嵌,可以为ISAR技术研究提供仿真平台和仿真数据支撑。     

保德煤矿81306综放工作面高位钻孔最优参数研究

为了确定工作面采空区高位钻孔施工的合理工艺参数，以81306综放工作面为研究对象，结合上覆岩层运移规律，推算出高位钻孔的终孔位置在18.04~52.21 m。以此为基础，在81306一号回风道布置4个高位钻场，共计15个高位钻孔，研究不同钻孔类型、终孔位置、钻孔长度和距巷帮距离对钻孔抽采浓度和纯瓦斯流量的影响。研究结果表明，定向长钻孔优于常规钻孔，高位钻孔距底板30 m时效果最好，20 m时次之。综合现场测试和Fluent 软件模拟结果，制定了保德煤矿高位钻孔布孔设计方案，为工作面采空区瓦斯治理提供了借鉴。     

基于海上稠油油田热采作业模式的探索

本文针对渤海稠油油田多轮次热采气窜严重导致油田产量下降的问题,从气窜产生的根本原因出发,提出了采用多井整体吞吐技术治理气窜的技术思路,阐述了多井整体吞吐热采技术优势。此外结合渤海油田B-1平台实际情况,对多井同注地面工艺流程进行了设计。最后对多井整体吞吐技术进行了风险分析并制定了对策,为后续更加科学、高效开采海洋稠油资源奠定了基础。