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1.
激光化学气相沉积法制备铜膜的性能与形态分析
茅敦民
连志睿
金忠
秦启宗
《量子电子学报》
1995,(2)
本文对以二(乙酸丙酮根)合铜(Ⅱ)和二(三甲基乙酰三氟代丙酮根)合铜(Ⅱ)为母体的化合物,用10.6μm和280nm激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪、扫描电子显微镜和四探针法进行了分析,观察到紫外激光生成铜膜中具有环状周期性图案的现象。
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