微透镜及其应用简介

对二元光学的产生和发展作了介绍，并阐述了二元光学元件之一的微透镜（microlenses）的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。微透镜的设计是基于已成熟的标量衍射理论；而其制作过程包括：计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或离子（束）蚀刻以及复制产生微透镜，其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE（Reactive Ion Etching）技术；微透镜的测试主要包括衍射效率（diffractive efficiency）和点扩散函数（PSF）的测试，有直接法和间接法两种测试方法。微透镜可以微型化与阵列化，并且可以同微电子器件一起集成化，具有广泛的应用前景。