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1.
BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作.结合此研究目的,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算,分别得到了专用和兼用时3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模:Au-PI组合和Au-Si组合.  相似文献   
2.
提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法.该方法是将SU8胶涂在一块掩模上,紫外光从掩模的背面照射,这样SU8胶的曝光将从底部开始,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量,从而很容易控制曝光剂量和SU8胶结构的内应力.实验结果表明,该方法能够得到高宽比为32的SU8结构,而文献报道的SU8胶结构的高宽比最大仅为18.  相似文献   
3.
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.  相似文献   
4.
抢答器广泛应用在各种智力抢答竞赛中,现在市面上的抢答器,种类繁多,功能各异,控制方式也不尽相同,但价格都比较贵。笔者最近采用一种新的控制方法:用触摸屏、PLC、数码管制作了一台六路抢答器,用于学生的知识竞赛中,效果十分的理想。在该制作中,  相似文献   
5.
证明了 2 -树 ,当△ ( G)≥ 4时 ,点边选择数等于图的最大度加 1  相似文献   
6.
GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造带来了许多问题。在本个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。  相似文献   
7.
LIGA技术是具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法,实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构,满足新型正电子慢化体的制备要求。本文报道了用LIGA技术制作正电子慢化体的实验研究。  相似文献   
8.
SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。  相似文献   
9.
2—甲基咪唑是一种重要的精细化工产品,用途比较广泛,本文通过对国内外2—甲基咪唑的生产现状和市场应用分析,提出了我国2—甲基咪唑的发展思路和建议。  相似文献   
10.
运用光刻、刻蚀技术在载玻片上刻蚀出条宽 70 μm、深 30 μm、长 7cm的沟槽 ,与另一载玻片键合 ,形成一微流路沟道 ,研制出了用于生物电泳技术的微流路生物芯片。在该芯片的研制中 ,克服了湿法腐蚀、断线、键合等技术难题。该芯片已经交付合作单位使用 ,能够满足应用中的基本性能要求  相似文献   
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