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1.
碳热还原法制备氮化硅粉体的反应过程分析 总被引:15,自引:0,他引:15
对以碳热还原法制备氮化硅粉体的SiO2-C-N2系统进行化学反应热力学和动力学的分析,从而发现在氮气氛不足的条件下,这一系统的反应产物将由氮化硅变为碳化硅;在氮气充足的情况下,随着温度的升高,生成物中碳化硅的量也会逐步增加,这一分析结果通过实验得到了验证。 相似文献
2.
3.
工艺因素对低压化学气相沉积氮化硅薄膜的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
以硅烷和氨气分别做为硅源和氮源,以高纯氮气为载气,采用热壁式管式反应炉,通过低压化学气相沉积(low pressure chemical vapor deposition,LPCVD)技术制备了氮化硅薄膜(SiN_x)。借助椭圆偏振仪研究了SiN_x薄膜的生长动力学,通过Fourier红外光谱和X光电子能谱表征了SiN_x薄膜的性质,并利用原子力显微镜观察了SiN_x薄膜的微观形貌。在其它工艺条件相同的情况下,SiN_x薄膜的生长速率随着工作压力的增大单调增加,原料气中氨气与硅烷的流量之比(R)对薄膜的生长速率有相反的影响。随着反应温度的升高,沉积速率逐渐增加,在840℃附近达到最大,随后迅速降低。当R<2时获得富Si的SiN_x薄膜(x<1.33);当R>4时获得近化学计量(z≈1.33)的SiN_x薄膜。 相似文献
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7.
运用晶界工程理论,选择能形成高耐炎度晶界相的Y2O3和La2O3双稀土氧化物为Si3N4陶瓷烧结助剂,材料具有优异的高温强度。第二相碳化硅粒子的引入有效地改善了氮化陶瓷的显微结构和力学性能。以无压烧结工艺制备的高性能α/β-Sialon复相陶瘊等在实际应用中获得良好效果。 相似文献
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10.
分析了灞桥热电有限责任公司12号主变低压侧电压互感器三相对地电压不平衡的原因,并提出了相应的改进措施。 相似文献