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2.
高支化碱溶性聚酯的合成及光成像研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
通过1,2,4-苯三甲酸酐和环氧氯丙烷合成高支化碱溶性聚酯,再用丙烯酸与多官能团环氧树脂反应产物对高支化聚酯改性得到高支化碱溶性感光聚合物;研究了这类聚合物的碱溶性、感光性和光成像特性。探索了光致抗蚀剂的配方组成和成像因素。结果表明,以接枝引入15%改性多官能团环氧树酯配制的光致抗蚀剂综合性能最好,分辨率3um以内(白光)。  相似文献   
3.
高支化碱溶性丙烯酸化聚酯光刻胶的性能及成像性研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
将高支化碱溶性丙烯酸化聚酯用于光致抗蚀剂,因其独特的三维结构而具有低粘度,高活性使抗蚀剂膜收缩率小,而具有良好的成像显影性。通过控制合适的对脂酸值及成像显影条件,可得到良好断面的图像,并且抗蚀剂线条图分辨率可达~1um。当光源分别为平行光和点光源时图像清晰程度不一样:平行光比点光源好。  相似文献   
4.
针对基于传统CART算法建立的煤层底板突水预测模型存在运行时间较长、准确率不高等缺点,介绍了一种改进的CART算法决策树模型,并将其用于煤层底板突水预测模型的建立。实验结果表明,采用改进的CART算法建立的煤层底板突水预测模型运行时间由1.041 1s减少到了0.612 5s,突水预测正确率由88.78%提高到了95.54%。  相似文献   
5.
原子荧光光谱分析技术的应用可以测定以下元素:一是砷,二是镝,三是蹄,四是汞,五是硒等.随后,我国研究人员结合原子荧光光谱分析技术研发出了以下技术:一是空心阴极灯,二是低温点火装置,三是小火焰原子化技术.除此之外,研究人员还研发出以下仪器:一是多通道光谱仪,二是一体化光谱仪.随着社会的快速发展,原子荧光光谱分析技术的应用范围还将不断扩大.但是,原子荧光光谱分析技术还需要不断创新和调整.  相似文献   
6.
未动用石油地质储量是油田制定年度开发部署、中长期开发规划方案的基础。在当前勘探难有较大突破的情况下,已探明未动用储量是油田最直接、最现实的后备储量。评估已探明未动用储量的开发经济效益及优选区块,都能为产能建设提供经济有效的储量资源。通过未动用储量经济优化技术的研究,在方法上突破了原有的经济评价方法,采用世界银行推荐的平均长期增量成本法(AIC),对未动用储量进行效益评价,克服了现金流评价方法预测参数多、预测期长及预测风险大的不足,为新区产能建设、投资决策提供了技术支持。  相似文献   
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