基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作

采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。     

基于驱动电流的水下热敏剪应力微传感器灵敏度研究

驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度,但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验,确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验,验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系,得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究,发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。     

一个邮件监听程序

介绍了如何利用VＢ６．０的Ｗinsock控件通过ＰＯＰ３协议来实现对Ｅ－mail的实时监听,并提出了作为实用软件需进一步完善的方面。     

环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较

在波前校正中,环形阵列的分立式微变形镜充分利用了各个单元。环形阵列的分立式微变形镜有等单元面积和等单元宽度两种设计准则,以37单元环形阵列微变形镜为例,从校正波前适配误差和校正后剩余波前的Strehl比两方面对两种设计准则进行比较。结果表明,采用等单元面积设计的环形微变形镜校正畸变波前的性能更好。特别是波前畸变严重时,这种效果更加明显。     

面向关中高新技术产业带的网络化制造

针对关中高新技术产业带的技术和制造资源优势，提出了适合区域经济特色的网络化制造整体解决方案和区域网络化制造系统的体系结构，明确了系统的组成与功能。采用虚拟专用网技术构建区域集成服务平台基础网络环境，提出了应用系统集成框架和平台基础服务功能配置。在对工业设计、具有快速响应机制的开放式制造、新产品快速开发、制造资源网络化优化配置、基于知识的产品创新设计、基于ASP的服务、集成应用服务平台等关键技术研究的基础上，提出了应用系统的实现方案。     

Ni-Cr合金真空钎焊金刚石界面微结构分析

钎焊单层超硬磨料砂轮极高的结合强度和接近理想的锋利形貌 ,使它在生产应用中显示出传统砂轮无法比拟的优异性能。这种新型超硬磨料砂轮以其卓越的磨削性能必将逐步取代传统单层电镀砂轮。本文在真空炉中用钎焊的方法 ,用Ni Cr合金钎料 ,适当控制钎焊温度、保温时间和冷却速度 ,实现了金刚石与钢基体的高强度连接。并用深腐蚀的方法处理钎焊后的试样 ,用扫描电镜、X 射线能谱仪 ,结合X 射线衍射结构分析 ,对金刚石与钎料界面微区结构进行了分析。结果表明 :在钎焊过程中 ,钎料会在金刚石界面形成富铬层并与金刚石表面的C元素反应生成Cr7C3 和Cr3 C2 ,其中Cr7C3 呈笋状生长 ,Cr3 C2 呈片状生长。Ni Cr合金与金刚石的冶金结合 ,是实现金刚石和钢基体有高结合强度的主要因素。最后通过磨削对比实验确证了金刚石与钎料有较高的结合强度     

基于Arnoldi算法的MEMS微梁的宏建模

微机电系统通常涉及机、电、流体、热等多个耦合能量域，其设计与分析需要通过宏建模来降低复杂度。论文根据系统传递函数矩匹配原理，提出将Arnoldi算法与Taylor展开相结合来实现MEMS器件行为的宏建模，建立了典型MEMS微梁的宏模型。与有限差分法相对比，该方法可以较准确地实现MEMS器件的快速动态仿真。     

关于能量算子解调方法的研究

能量算子（ＥＯ）解调法是近年来在国外受到重视的一种新的解调方法,本文在介绍其原理的基础上,把这种新的解调方法与作为标准解调法的Ｈｉｌｂｅｒｔ变换法进行了比较。比较了它们的运算速度和解调精度。结果表明,能量算子解调法在运算速度和解调精度方面具有明显优势。相信能量算子法在信号解调分析中大有可为     

PDM技术的发展

产品数据管理（Product Data Management)作为信息集成框架，从90年代初正式提出到现在一直是国内外专家们的研究热点，并逐渐成为众多企业的一种竞争策略。回顾了PDM技术的起源与发展，讨论了PDM的概念以及功能结构体系，综合目前PDM技术的研究动态，分析了PDM技术的发展现状，同时展望了PDM技术的未来发展趋势。     

静电活塞式驱动的分立式微镜的快速仿真(英文)

用解析的方法对典型的基于SUMMIT工艺、静电活塞式驱动的分立式微镜进行了快速的静态与动态仿真,避免了有限元法的繁琐性。在微镜阵列变形时的孔径函数不能用解析表达式表示的情况下,应用MATLAB软件实现了快速傅里叶变换,得到了单色平面波经微镜阵列反射后的的远场衍射花样。