基于CAN总线的低温等离子体设备系统

基于CAN(控制器局域网)总线的现代测控技术可以提高低温等离子体设备自动控制的实时性、可靠性和可扩展性.针对典型低温等离子体设备实验平台,通过设计制作的智能节点和带有CAN接口卡的PC机建立起了1个基于CAN总线的低温等离子体设备系统,详细介绍了影响该系统实时性的2个关键问题.实验结果表明,该系统可以稳定可靠工作、可以实现对重要参数的自动稳定控制,驱动频率在20 ～60 Hz之内,真空度上下波动量为9Pa.     

SG滤波在朗缪尔探针信号处理中的应用

利用朗缪尔探针检测射频耦合等离子体特性参数时,测得的伏安特性曲线会受电磁干扰而产生畸变,从而影响等离子体参数的计算和特性分析。为此,利用Savitzky-Golay(SG)滤波算法对伏安特性曲线进行分段滤波,给出平滑效果较好的特性参数。实验结果表明,SG算法对原始信号特征改变较少,求出的电子能量概率函数准确度较高。