表面分析仪器综述

一、前言在材料科学飞速发展过程中,要求对材料表面做充分研究,因为整体和表面具有非常不同的性能。过去对固体表面做过的某些研究工作,多属于实际应用方面,例如:金属表面的吸附、电子管阴极的热电子发射、触媒的表面活性,表面和晶界面对整体材料性能的差异等。这些实际经验不但不能完全解释这些现象     

离子探针质谱微分析仪及其应用

一、前言在科研和生产工作中证明:固体表面或晶体界面在各类科研生产领域内具有极其重要作用,而表面或界面内的杂质含量、分布和缺陷对其原有性能影响极大。例如,金属材料的腐蚀、半导体薄膜和磁性材料薄膜的表面现象、催化剂表面的特有性能等,都与其杂质含量和分布有关。近年来随着材料科学,特别是表面     

微米束离子聚焦系统的研究

本文介绍了离子探针用微米束离子聚焦系统的设计方法,讨论了冷阴极双等离子体离子源、对称式三膜片静电双聚光镜系统、非对称式静电物镜、无象差双静电偏转式离子束扫描系统及12.6°磁分析器。本装置在加速电压为20千伏时,离子源亮度优于4.2×10~(10)毫安/米~2·立体角,阴极寿命超过1000小时,很易获得直径2～200微米的离子束。