微机械红外热电堆探测器

阐述了微机械红外热电堆探测器的工作机理以及主要结构 ,并用微机械工艺制作得到 4× 4的探测器阵列 ,该制作工艺与标准IC工艺兼容。在获得的探测器阵列中 ,热电堆支撑结构为氧化硅与氮化硅的介质复合膜 ,热电偶材料采用多晶硅与金属。实验得到的芯片尺寸为 8.5mm× 7.0mm。     

正面腐蚀方法制作新型微机械红外热堆探测器

阐述了微机械制造工艺制作红外热堆探测器的方法,其采用新的正面湿法腐蚀的方法释放体硅,获得悬梁结构的红外热堆探测器。该探测器用LPCVD（低压化学气相沉积）氮化硅膜,与热氧化得到的氧化硅膜形成三明治结构作为热偶对的支撑结构;热偶材料采用多晶硅与金属。实验结果表明这是一种很有前景的制作方法。     

城市配网综合自动化及其实现

城市配网自动化是一项系统的综合性工程,成功的配网自动化是设备的可靠性和方案的有机结合。针对配网综合自动化技术发展的过程及其特点,在环网配电的前提下,结合楚雄地区城网实际情况,给出灵活多变、易于实施的技术方案,并具体说明它在实际应用中的诸多优越性。