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碳化硅棚板生产工艺探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
前言我国从70年代末80年代初开始研制碳化硅棚板取得一定的效果,我厂从1985年以来对碳化硅棚板生产工艺进行了研究和探讨,取得一定的经验,现按生产工艺浅述如下。 相似文献
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