Investigation of Capacitively Coupled Argon Plasma Driven by Dual-Frequency with Different Frequency Configurations

Low pressure argon dual-frequency （DF） capacitively coupled plasma （CCP） is generated by using different frequency configurations, such as 13.56/2, 27/2, 41/2, ...     

基于扰动法的自学习MPPT控制研究

太阳能板输出功率具有非线性特性,易受温度、光照强度、负载等多种因素影响.为了提高太阳能板的利用效率,需要对其进行最大功率点跟踪(MPPT).这里以“扰动法”为基础,提出了自学习MPPT控制方法,并构建MPPT控制器和普通控制器对蓄电池充电的实验系统进行充电实验,其结果表明基于扰动法的自学习MPPT控制方法能够实现太阳能...     

A Study on Optical Emission of CF4＋CH4 Plasma and Deposition Mechanisms of a-C ： F, H Films

Fluorinated amorphous carbon (a-C : F, H) films were deposited by inductively coupled plasma using CH4 and CF4 gases. Actinometrical optical emission spectroscopy (AOES) was used to determine the relative concentrations of various radicals, CF, CF2 CH, C2, H and F, in the plasma as a function of gas flow ratio R, R=[CH4]/([CH4] [CF4]). The structural evolution of the films were characterized by Fourier transform infrared transmission (FTIR) spectroscopy. The relationship between the film deposition and the precursor radicals in the plasma was discussed. It was shown that CH radical, as well as CF, CF2, C2 radicals are of the precursors, contributing to a-C : F, H film growth.     

流量比对等离子体基团分布和薄膜结构的影响

使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3／C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加，成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大，而刻蚀基团F的密度也会增加，从而使得a—C：F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明，在高CHF3流量下沉积的a—C：F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C：F薄膜的制备中CHF3／(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。     

一种可搜索无限个邻域的改进A*算法

传统A*算法在栅格地图上进行路径规划时,求解得到的路径长度不是最短并且转折点较多.针对这些不足,提出了一种改进A*算法,将传统A*算法的可搜索邻域个数从离散的8个拓展为无限个,可以沿任意方向进行搜索.这样不仅求解出来的路径长度更短,并且大大降低了其转折点的个数.该算法被应用于自主研发的"智能先锋"号系列无人驾驶车辆上,实车试验以及它们在"中国智能车未来挑战赛"中的优异表现证明该方法能够在栅格地图中求解出一条更优的可行驶路径,可以显著提升无人驾驶车辆行驶的效率和平稳性.     

低掺铝TiN薄膜的XPS,XRD分析研究

本文用多弧离子镀方法制备了Ｔｉ１－ｘＡｌｘＮ（ｘ＜０．３）薄膜，并且运用俄歇电子能谱（ＡＥＳ），Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ），Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）和扫描电子显微镜（ＳＥＭ）等技术对Ｔｉ１－ｘＡｌｘＮ进行测试和分析。结果表明：膜层中除含Ａｌ、Ｔｉ、Ｎ元素外，还出现了一定量的氧；薄膜呈现了（１１１）、（２２２）等晶面的择优取向；薄膜与基底间的附着力较好。     

如何在AutoCAD中为3DS的动画建立精确的路径

在进行3DS动画设计时,用2Dshape指定的造型和3Dlofter的路径做为Kerframer中组件的路径并不很精确,有时还不能达到所指定的效果.在Auto-CAD中应用.DXF格式文件完全能够为3DS的组件提供相当精确且快捷的路径,包括为虚拟物体建立精确的游历路径等.以下是路径的建立过程:1.在3DSEditor模块中调出要指定路径的图形,按^S后将图形存成C盘根目录下假设文件名为x的.DXF文件格式,退出3DS工作画面.2.进入AutoCAD工作画面,选择File=〉Inport/Export=〉DXFIn…,在C:\下找到并装入x.DXF文件,在下拉菜单Draw中选择Polyline,为动画组件设定建立二维或三维的多义线路径.     

Effects of Deposition Temperature on the Properties of Fluorinated Amorphous Carbon Films

Fluorinated amorphous carbon films (a-C:F) were prepared at different temperatures using a microwave electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECR-CVD) reactor with CHF3 and C2H2 as source gases. Films were annealed at 500℃ in vacuum ambience inorder to investigate the relationship of their thermal stability, optical and electrical propertieswith deposition temperature. Results indicate that the films deposited at high temperature have a less CFx bonding and a more cross-linking structure thus a better thermal stability. They also have a lower bandgap, higher dielectric constant and higher leakage current.     

不同沉积气体对多孤法制备TiC膜的影响

采用两种不同的沉积气体CH4 和C2 H2 分别在SUS3 0 4不锈钢基片上用多弧离子法沉积TiC硬质膜。XPS结果表明 ,用C2 H2 作为沉积气体制备TiC膜中的sp2 杂化的碳多于用CH4 作为沉积气体制备的TiC膜。XRD表明 ,用CH4 气体沉积TiC膜的 ( 111)峰为择优取向 ,但用C2 H2 气体沉积的TiC膜却朝着 ( 111)和 ( 2 2 0 )取向竞争生长。TiC薄膜的高硬度某种程度上取决于TiC( 2 2 0 )峰的丰度。     

基于激光雷达回波信号的自适应阈值车道线检测

基于激光雷达的车道线检测目前使用最多的是基于雷达扫描点密度的检测方法,但它的抗干扰能力差.为此,本文利用激光雷达的回波脉冲宽度对于车道线与路面的区分度进行特征提取,提出一种特征提取方法,分两步进行——基于脉冲宽度动态阈值的种子点提取和基于高斯核加权搜索的区域生长.然后引入FCL(fuzzy C-means of line)算法识别车道线(以线为中心进行聚类),最后通过最小二乘法拟合车道线.通过实车在6个不同的道路场景下进行实验,都能够准确检测出车道线,同时具有较高的检测精度.