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采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室(MGC)结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术,其典型结构为阳极微条宽20μm,微条间隔180μm,器件探测区面积为38 mm×34 mm。采用热丝CVD法制备的金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层,厚7~8μm,具有(100)晶面结构。金刚石的刻蚀采用反应离子刻蚀,Cr作掩膜,O2和SF6为刻蚀气体,刻蚀速率为79 nm/min,与Cr的刻蚀比约为20:1。实验结果表明,采用的微加工结合自套准工艺可很好地解决金刚石薄膜的制备、图形化及金属阳极电极与金刚石薄膜的相互套准等金刚石薄膜的可加工性及兼容性问题,并制备出采用金刚石薄膜作为电极间绝缘介质层的新型MGC结构。 相似文献
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利用射频磁控溅射方法制备CoCu合金不同成分的亚稳态薄膜。研究了CoCu合金颗粒膜的磁电阻随真空退火温度,外磁场以及组元成分而变化的规律,经真空退火后,CoCu颗粒膜中析出了Co颗粒呈面心立方结构。这种在非磁性Cu的基体上和具有磁性Cu偏聚态的纳米级颗粒膜具有巨磁阻(GMR)效应,CoCu颗粒膜的GMR效应及磁性能均取决于Co颗粒的尺寸及数量。 相似文献
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提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定子的设计和优化提供了理论依据。 相似文献
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随着计算机工业,信息,多媒体技术的高速发民菜,对计算机外存储设备提出了大容量,高数据传输速率及小型化的要求,而实现该要求的唯一途径是提高记录密度,近几年来,由于高矫顽固低噪声介质,薄膜磁阻头,读写及定位技术等方面的重大突破,使记录密度以每年60%的速率递增,本文就这种数字式磁记录技术中使用的薄膜磁记录介质及新型薄膜磁头材料的发展作一简述。 相似文献