AZ4620光刻胶的喷雾式涂胶工艺

对于一些MEMS应用,需要在形貌起伏很大的晶圆表面均匀地涂布光刻胶。喷雾式涂胶工艺满足了这些要求。研究了几种稀释的AZ4620光刻胶溶液的雾化喷涂性能,在沈阳芯源微电子设备有限公司KS-M200-1SP喷雾式涂胶机上进行了雾化喷涂试验,分别对裸片及深孔不同尺寸的晶圆进行喷雾式涂胶实验;特别研究了决定喷涂薄膜膜厚和均匀性...     

状态检修技术在邹县发电厂的应用

说明设备状态检修管理的必要性，设备的监测与诊断是状态检修的核心问题。详细介绍国际先进的设备振动分析技术、马达分析、油液分析及红外分析技术在邹县发电厂的使用情况，分析各种状态诊断技术在设备诊断过程中的具体应用。     

硅通孔用光刻胶雾化喷涂技术

IC 3D集成需要穿透硅互连技术,也就是需要实现晶圆一侧到另一侧的电互连。很多穿透硅互连技术的应用需要在表面起伏很大的晶圆表面光刻图形,这就要先在晶圆表面均匀涂布光刻胶层。文章研究了光刻胶AZ4620的雾化喷涂性能,在沈阳芯源微电子设备有限公司KS-M200-1SP喷雾式涂胶机上进行了雾化喷涂试验,对光刻胶流量、扫描速...     

在线优化调整技术在2000t／h锅炉上的应用

指出锅炉燃烧优化的复杂性，详细介绍一种新型在线锅炉燃烧优化技术的基本原理、优化过程及其实施方案，提出在应用该新技术时应注意的问题。     

状态检修在邹县电厂的应用与实践

简要介绍了邹县发电厂状态检修总体的实施和应用情况。重点介绍了具有邹县发电厂特色的优化维修模式和设备状态诊断管理，可供计划实施状态检修的发电单位参考。     

锅炉汽包双色水位计爆漏原因分析

近年来锅炉汽包双色水位计频繁发生爆漏,水位计存在备品配件管理、检修工艺等问题,分析了其运行维护和设备管理方面的原因,并提出了防止水位计爆漏的措施。