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针对由金属-绝缘体-金属(MIM)电容金属层光刻返工引起的产品成品率下降10％的问题,开展了一系列工艺实验,分析了引起失效的机理并提出了改进措施.采用扫描电子显微镜对失效样品进行了分析和表征,发现失效样品的氮化硅介电层有空洞,而未经MIM光刻返工的样品均未发现介质层有异常.由于MIM金属层光刻返工时,经过等离子体去胶和EKC溶液清洗表面易对电容介质层造成损伤,引起极板间短路,进而影响器件性能.实验结果表明,采用有机显影溶剂去胶来取代等离子体去胶,可有效改善光刻返工引起的电介质层损伤.采用该方法返工两次以内的成品率均不受影响.同时发现MIM电容层上的钨塞孔链密度在一定程度上影响失效率,分析认为高孔链密度样品更易受到后续孔刻蚀工艺的强电场影响. 相似文献
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关于大力加强新疆煤与煤层气开发利用的建议 总被引：2，自引：1，他引：1
严陆光 赵忠贤 吴承康 陈俊武 费维扬 周孝信 戴金星 蔡睿贤 刘嘉麒 夏训诚 周凤起 陈勇 吴甲春 王俊民 高壮 吕绍勤 陈香生 胡国艺 孙予罕 胡文康 赵黛青 黄常纲 马扬 刘峰松 申倚敏 《电工电能新技术》2009,28(3)
二十一世纪上半叶我国应尽快向着减小化石能源份额,增大可再生能源份额的方向,逐步构建我国能源可持续发展体系.新疆广阔的荒漠地区,非水能可再生能源和化石能源资源均十分丰富,应努力提高其在全国能源发展中的地位,成为未来国家的重大综合能源基地.新疆煤炭资源丰富,开发利用也已建立了良好基础,但至今主要满足自治区内的社会经济发展需求,尚未进入国家重大煤炭基地序列进行部署.中国科学院学部决定组织有关院士与专家,立项进行"新疆地区煤和煤层气开发和综合能源基地研究"的专题咨询研究.由于此项工作牵涉面广,咨询组又按需研究的内容及院士专家的专业特长设立了(1)新疆煤炭与煤层气资源及其开发前景;(2)新疆煤炭在全国能源发展中的地位;(3)新疆煤炭开发利用--向区外输电与直接外运;(4)稳妥有序地推进新疆煤化工发展;(5)新疆煤层气勘探、开发和利用建议五个子项,开展了较细的工作.根据有关研究结果,提出了建议,主要是:为大力加强新疆煤与煤层气开发利用,有效提升新疆煤炭工业的战略地位,近期内建议抓紧下列工作:1.提高新疆在全国煤炭供应中的地位;2.将吐哈与准东煤田纳入国家亿吨级大型煤炭基地序列;3.统筹规划协调,实现西煤东运;4.开展新疆煤电开发和东送的规划研究,逐步实现向西北、华中、华东输电的目标;5.谨慎决策,分阶段规划,稳妥有序地推进煤化工的发展;6.加强煤层气资源勘探和开采技术研究,为大规模开发利用做好充分准备;7.政府统一领导.制订相关法规,高效实施新疆优势资源转换战略;8.抓紧人才队伍建设,加速高层次人才的成长. 相似文献
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关于发展高温超导输电的建议 总被引：1，自引：0，他引：1
严陆光 周孝信 甘子钊 周远 卢强 赵忠贤 周廉 程时杰 刘峰松 肖立业 林良真 韩征和 信赢 戴少涛 来小康 唐跃进 罗二仓 王俊杰 丘明 李柏青 于坤山 古宏伟 任丽 冯霞 许熙 《电工电能新技术》2014,(1)
为解决我国日益突出的能源资源和负荷分布不均的矛盾,提高能源、环境和经济等综合利用效率,中国科学院学部于2011年12月设立了"高温超导输电"的咨询项目,力求前瞻思考和探讨高温超导输电的可行性并为国家发展此项前沿技术提供咨询意见。本项目在严陆光院士的主持下,组织20多位院士和专家,经过一年多的深入调研和研讨,形成了《关于发展高温超导输电的建议》咨询报告。报告分析了国内外高温超导输电技术发展和示范应用情况,认为高温超导输电具有大容量、低损耗、体积小、重量轻、系统可靠性高、节约资源、环境友好等优势,有望在我国未来电网发展中发挥重要作用。报告还针对我国相关技术和政策等方面的问题,提出了我国发展高温超导输电路线图和设立"高温超导输电"项目等政策建议。 相似文献
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严陆光 赵忠贤 吴承康 陈俊武 费维扬 周孝信 戴金星 蔡睿贤 刘嘉麒 夏训诚 周凤起 陈勇 吴甲春 王俊民 高壮 吕绍勤 陈香生 胡国艺 孙予罕 胡文康 赵黛青 黄常纲 马扬 刘峰松 申倚敏 《电工电能新技术》2009,28(4)
(接上期,cont.from previous issue) 6 大力发展煤电与西电东送 1)发展煤电西电东送的必要性 新疆地区煤炭资源丰富,有条件成为面向全国的电力和发电用煤供应基地.近年燃煤发电机组装机增加很快,全国发电用煤和部分地区电力供应紧张.沿海发达地区近年电力需求增长迅速,受环境容量和煤炭运输限制,除本地建厂发电外,需要接受大量外来电力.以江苏省为例,有关资料表明,2006年全省全社会最高用电负荷4206万千瓦,用电量 相似文献
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