85 nmUV降解水中二苯甲酮和孔雀石绿的动力学研究

研究了185 nmUV降解水中 二苯甲酮和孔雀石绿的动力学,主要 包括185 nmUV降解水中有机物的动力 学分析,反应速率常数的理论分析, 各种因素如温度、浓度、pH值以及流 速等影响反应速率常数的因素分析, 并建立化学反应动力学方程;讨论185 nmUV降解水中的二苯甲酮和孔雀石绿的 动力学规律;从理论和实验讨论185 nmUV 降解水中的二苯甲酮和孔雀石绿是符合准 一级动力学规律。     

现代高纯水

论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求；研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法，该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素、溶解氧等；讨论了高纯水常用各种管材的污染，并列举了大量数据和应用实例。     

半导体材料器件生产工艺中废气废水的综合治理方法及设备的研究

针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理，介绍了三种不同的方法和相关设备。①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制备中砷烷、磷烷污染的治理。②生产规模的半导体材料砷化镓，磷化姻，重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中，腐蚀间排放的废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物酸根离子的治理。用椭圆隔板式喷淋吸收塔或双塔式喷淋吸收设备，用氧化剂及碱液吸收的治理方法。③治理半导体工艺废水中砷、总磷、各种酸及重金属等的污染。用碳酸钙中和后，加铁盐经絮凝沉降一体化装置治理废水。经治理后的废气、废水经环保部门检测均达到国家排放标准。     

InP-H_2-KBH_4体系中磷的热力学分析、检测及治理

用热力学计算了InP-H_2-KBH_4体系中磷的组分与温度的关系,从理论上探讨了用气相色谱分析固相中磷的可能性。建立了不经化学预处理,用气相色谱直接测定固、液、气相样品中的磷及其磷化物的方法,测定结果与分光光度法基本一致。用逆向喷淋的方法对半导体工艺尾气中的磷进行了有效的治理。