硅基微电感的研究

阐述了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法,提出了在硅杯背面用激光器打孔以减薄衬底厚度,从而使电感的Q值得到提高的一种方案,并应用目前普遍采用的电感模型,利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电感几何参数与磁感应强度、电感值的关系。结果表明,该方法具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用领域。     

在Windows95下实现单片机与PC机接口通信

在Windows95下使用串口API函数,采用MAX485E半双工收发器.实现PC机与单片机的串口通信设计方案,实验结果表明,该设计方案具有体积小、可靠性好、接口简便的特点.     

电磁式井下液体流速传感器研制

阐述了电磁式井下液体流速传感器的设计原理、结构和研制样品的实验结果.研制的电磁式井下液体流速传感器具有体积小、线性好、高稳定和低噪声的优点,可广泛应用于油田井下液体流速和工业管道中液体流速的测量.     

PECVD法制备纳米晶粒多晶硅薄膜

采用射频等离子体增强化学气相沉积系统（RF-PECVD）以高纯SiH4为气源在P型〈100〉晶向单晶硅片上、衬底温度600℃、射频（13.56MHz）电源功率50W时沉积非晶硅薄膜,利用高温真空退火制作纳米晶粒多晶硅薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、Raman光谱、AFM测量和分析薄膜微结构及表面形貌,实验结果表明,退火温度为800℃时非晶硅薄膜晶化,形成择优取向为〈111〉晶向的多晶硅薄膜;退火温度增加,Raman谱TO模和TA模强度逐渐减弱;AFM给出800℃退火后薄膜晶粒明显细化,形成由20~40nm大小晶粒组成的多晶硅薄膜,薄膜晶粒起伏程度明显减弱。     

关于非视觉器官高阻半导体器件性能的实验证据

编辑同志: 贵刊在1979年10月(2卷10期)发表了空军某医学研究所罗冬苏同志写的《非视觉器官图象识别与人体电磁感受机制的探讨》一文和中国科学院西北高原生物研究所1979年4月26日对潘锦堂同志感知地磁能力的测试报告.我是从事磁敏器件研制工作的,并从1975年开始从事细胞型有机半导体开关器件的研制探讨工作,根据我们从事这方面的工作情况,对     

纳米电子学研究与展望

本文在阐述纳米科学技术概念、意义和内涵的基础上,着重展望了21世纪纳米电子学研究与发展的几个主要领域和发展前景.     

热解聚间苯二胺基超级电容器电极材料的研究

间苯二胺在氧化剂存在下聚合成聚间苯二胺,然后在高温下热解得到一次热解聚间苯二胺(PPDAN-1),PPDAN-1在KOH存在下进一步高温烧蚀,得到二次热解聚间苯二胺(PPDAN-2),以PPDAN-2为电极材料制成超级电容器,通过对电容器的恒流充放电测定结果表明,它是一种良好的电极材料,其比容量可达到189F·g-1。     

在EPW中采用(100)硅制作微悬臂梁凸角补偿及工艺研究

(100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受到侧向腐蚀,出现严重的凸角削角现象.研究采用EPW腐蚀(100)硅片制作微悬臂梁的凸角补偿方法及制作工艺,给出采用圆形掩膜对(100)硅凸角进行补偿.实验结果表明,该方法能够较好的完成对EPW腐蚀液中悬臂梁凸角削角的补偿。     

硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究

硅基/聚酰亚胺湿度传感器是采用集成电路光刻工艺在硅衬底上制成了以PI材料为介质膜,以金、铝为电极的电容式湿度传感器。给出了聚酰亚胺(PI)材料的感湿机理,硅基/聚酰亚胺湿敏电容的结构,以及湿度传感器的制造工艺、湿敏特性、工作原理及应用等。测试结果表明,在相对湿度为10%-90%RH范围内C-%RH曲线线性度良好。