小腔体器件内部气氛检测试验夹具优化研究

简要介绍了小腔体器件内部气氛检测结果的主要影响因素,研究分析了当前小腔体器件内部气氛检测试验夹具存在的缺陷,明确提出了小腔体器件内部气氛检测试验夹具的优化思路和设计模型,提高了试验结果的准确性和稳定性。