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批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性. 相似文献
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极少主义缘起于20世纪50年代中期的美国ABC硬边艺术,产生的直接原因是为了反对当时画坛崛起的抽象表现主义和波普主义.随后,这场新的艺术运动影响到了整个设计艺术领域.其中,在室内设计界就出现了“光洁派”(又称极少主义),它旨在运用现代材料和现代加工工艺,对空间进行简 相似文献
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结合三维编织复合材料制造工艺,提出了利用碳纳米线传感器对三维编织复合材料试件缺陷检测的应用方法。论述了碳纳米线传感器嵌入三维编织复合材料预制件的方式,分析了碳纳米线传感器的力学特性。分析了编织角对嵌入碳纳米线传感器的影响。系统使用传统的应变放大器测量电阻变化。最后,应用响应面法对实验结果进行统计分析。实验表明,本实验的研究方法成功地实现了三维编织复合材料内部缺陷位置和大小的估计。 相似文献
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