斜坡电流测试应用与比较方法研究

讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对测试结果击穿电荷具有的严重影响。指出斜坡电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性,使斜坡电流测试的结果具有可比较性。同时,讨论了由于斜坡电流测试本身的特性,击穿电荷具有非连续性,针对击穿电荷的非连续性,提供了一种统计上的数据处理方法,并且根据工程上不同的定性比较结果提供了不同的统计比较方法,可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定量的统计比较。在产品验证或生产线出现异常时,能够进行统计上的比较,给出定量的结果。据此能对生产线的稳定性或异常事件对产品的影响给出明确的结论,为受影响的产品的处置提供定量的数据支持。这是首次对斜坡电流测试数据的统计定量分析。     

空分装置的爆炸原因及预防

最近世界各国合成氨厂和氧气厂的空气分离装置,发生不少次爆炸事故。当空分装置爆炸时,虽然伤亡人数很少,但设备遭到破坏,原料气来源断耗,结果造成停产,其经济损失很大。特别是空分装置修复费用,比减少产量的损失,要大好几倍。因而,认真研究空分装置的爆炸原因及预防措施,是保证合成氨厂和氧气厂安全生产的重要关键。     

电阻温度系数研究及其在可靠性早期监测中的应用

在大规模集成电路进入深亚微米时代的同时,金属互连层在产品的可靠性方面扮演着越来越重要的角色,因此,需要对金属层进行快速的在线监测。本文对电阻温度系数的内在物理含义进行了详细论述,讨论了电阻温度系数与金属电迁移可靠性失效时间的关系,指出电阻温度系数是一个可以表征金属可靠性的敏感参数,可以用来对金属可靠性进行早期评估与在线快速监测。同时讨论了金属层测试结构的几何尺寸对电阻温度系数的影响,指出了运用电阻温度系数进行早期可靠性在线监测时需要避免测试结构的干扰。     

铜工艺电迁移分模式失效机理研究

在大规模集成电路进入深次微米时代的同时,铜工艺技术也被广范应用在金属互连层的工序当中。电迁移（Electromigration,EM）测试是检测金属互连层性能的主要方法,本文针对测试结果所呈现的分模式（Bi-modal）现象,对大量累积的测试数据以及物理失效分析的结果进行分析,并且结合对铜工艺的分析,给出了失效机理的解释并以图形化的形式进行了整合归纳。提供了一种快速的通过失效时间进行失效模式分析的方法,为我们不依靠物理失效分析而快速发现工艺问题提供了可能。     

过磷酸钙生产中的安全技术

过磷酸钙的生产;虽然已有悠久的历史,但是工业上的安全与劳动保护问题,却一直没有很好解决。这一方面的问题,归纳起来,约有以下三点:1.粉尘多过磷酸钙的生产流程,大部分采取固体输送过程。过磷酸钙所用原料——磷矿石,经过破碎、干燥、粉碎、筛分等工序,才送到混合机去使用。过程中有大量的粉尘。据苏联调查结果:在破碎机处,粉尘含量达20～190毫克/米~3;粉碎机处,粉尘含量达200毫克/米~3;筛分处附近,达15～30毫克/米~3,最高超过200毫克/米~3。而当由化成室出来的新鲜过磷酸钙,须经过打散、熟化、翻堆、中和等工序才能出厂。在此过程中,空气中过磷酸钙粉尘也很大。据苏联测定     

统计方法在电迁移测试数据分析比较中的运用

针对线上工艺的不同情况,如量产产品工艺监控、工艺改进的验证或者线上异常情况发生时的风险评估,仅进行常规的参数估计和寿命推算是不够的,需要对电迁移加速寿命测试的数据进一步分析。本文结合统计的方法,着重研究通过对X-MR图引入监控因子这个参数形成双控制线管制图来对于量产产品工艺稳定性进行评估,及早发现问题;通过引入T0．1的95％的置信区间来比较子批与母批（基线）,从而对工艺改进和线上异常发生时更有效的进行风险评估。     

栅氧化层经时击穿物理模型应用分析

讨论了栅氧化层击穿的统计模型,并对业界广泛应用的1/E模型、E模型以及幂指数模型中栅氧化层击穿的物理机理进行了仔细研究,指出了各个模型应用的局限性,结合实验数据分析,明确给出了各个模型的应用范围。详细讨论了电场加速因子与激活能在三个模型中的不同物理含义,总结了电场加速因子、激活能随着栅氧化层厚度变化的发展趋势以及所对应的击穿机理,据此提出了通过激活能与电场加速因子选择和验证所用加速模型是否合理的方法。此方法为判断测试条件是否合理,分析测试结果的内在含义提供了更直接、有用的参考信息。     

以功能转换模块扩充老炼系统使用功能

介绍了如何藉由在老炼系统外部提供适当设计整合的模块,达成把单一功能的老炼系统扩充成为通用型功能的老炼系统的目的.由于产品不同,老炼试验的条件也不同.被称为"功能转换模块"的设计大大增加了老炼系统使用的弹性,也使得老炼试验将不再局限于系统本身所能提供的温度范围.这个功能转换模块的设计中心思想是把不同老炼系统的信道特性作分析,并找出共同或相近的地方,然后在考虑老炼试验细部的要求后设计出相关的模块来达成所需要的功能.在最终的研究成果以及实际的应用中可以证实这样的设计具有可执行性而且也可以扩大应用的领域.     

电迁移加速测试模型参数分析及其趋势研究

对电迁移加速测试模型Black方程中参数的内在物理含义进行了研究,指出参数数值本身代表着电迁移的不同失效机理;对其在不同技术节点的数据进行了系统总结,给出了加速参数随着技术发展的变化趋势与合理范围,可以利用加速参数对工艺中的问题提供改进方向,为判断测试结果,测试条件和测试结构是否合理提供了参考基准;讨论了威布尔分布在电迁移测试中应用的可行性与优点,威布尔分布的形状参数为判断测试结果是否合理提供了更直接、有用的参考信息.     

电迁移测试中模型参数估计方法的比较

电迁移（Electro—Migration,EM）是集成电路可靠性研究的重要项目之一。本文基于JESD63,基于最小二乘法（LSE）和基于极大似然估计（MLE）来研究不同的统计方法对电迁移的样本估计（t50,σ）和模型参数估计（Ea,n）的影响,并列举了不同统计方法在不同情况下的应用。为电迁移的数据分析提供了更多更灵活的处理方法,此外,对TDDB（Time Dependent Dielectric Breakdown）的参数估计同样适用。